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對(duì)于小型商品化的機(jī)床,溫度控制要求不需太高(0.5℃)。這是因?yàn)樾×慵母咚偌庸r(shí)間短,溫度影響相對(duì)較小且易控。2011年,依托于北京航空精密研究所的精密制造技術(shù)航空科技重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研制出Nanosys-1000數(shù)控光學(xué)加工機(jī)床。這是我國(guó)研制成功的臺(tái)大型光學(xué)級(jí)加工水平的LODTM機(jī)床(圖2)。天河數(shù)控車(chē)床加工廠家服務(wù)熱線(xiàn)。
機(jī)身整體坐落在4主動(dòng)式隔振氣墊上,形成動(dòng)力學(xué)3支撐,可隨著加工中改變自動(dòng)調(diào)水平;隔振氣墊下的機(jī)床地基設(shè)計(jì)成具有橫向隔離的重力型減振形式;機(jī)床及工件刀具加工點(diǎn)設(shè)計(jì)在接近支持平面的位置,以化床身姿態(tài)變化擾動(dòng)影響。機(jī)床主軸、導(dǎo)軌均采用液浮靜承,并根據(jù)工作狀態(tài),主軸采用低阻尼,導(dǎo)軌采用高阻尼油;Z垂直導(dǎo)軌托板設(shè)計(jì)成無(wú)干涉氣浮重力平衡機(jī)構(gòu)。天河數(shù)控車(chē)床加工廠家服務(wù)熱線(xiàn)。
在加工面形的復(fù)雜度方面,由于太赫茲波束控制元件表面電磁特性,其設(shè)計(jì)元件面形更加復(fù)雜,如非對(duì)稱(chēng)賦形自由曲面等。由于各種條件限制,超精密機(jī)床不可能做得太大。對(duì)于硬脆材料的超大型應(yīng)用,如深空望遠(yuǎn)鏡拼接式離軸非球面鏡片可用相應(yīng)尺寸的多軸超精密自由曲面磨床加工解決,但對(duì)于太赫茲應(yīng)用的金屬基(如鋁基等)相同尺寸或更復(fù)雜面形元件,這種機(jī)床就不適宜。天河數(shù)控車(chē)床加工廠家服務(wù)熱線(xiàn)。