擴(kuò)散噴射泵：它是一種有擴(kuò)散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯(lián)組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。氣體捕集泵這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵

旋片式真空泵( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )具有結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優(yōu)點(diǎn)。所以，它適用于作擴(kuò)散泵的前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實(shí)驗(yàn)室使用。例如：質(zhì)譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機(jī)等。

羅茨真空泵( Roots Vacuum Pump )是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?，須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)，有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機(jī)組的主泵，需要用前級泵輔助。如：水環(huán)式真空泵，滑閥真空泵，立式無油真空泵，分子真空泵等。國內(nèi)最大羅茨真空泵保持紀(jì)錄為20000L/S。

水環(huán)泵也有其缺點(diǎn)：效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)50%。真空度低，這不僅是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強(qiáng)只能達(dá)到2000~4000Pa。用油作工作液，可達(dá)130Pa?？傊?，由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除、的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點(diǎn)，盡管它效率低，仍然得到了廣泛的應(yīng)用。

真空泵組閥片的作用：閥片其實(shí)對于真空泵機(jī)組的運(yùn)行起到了很大的作用，如果閥片受損就會嚴(yán)重影響機(jī)組的正常運(yùn)轉(zhuǎn)情況，所以這就需要對閥片做好定期檢查，從而確保閥片能夠長久保持良好的使用狀態(tài)。真空泵組在運(yùn)行過程中會出現(xiàn)機(jī)械故障，為了預(yù)防這些可能出現(xiàn)的故障，首先保證設(shè)備的密封效果，一般會在真空泵兩端的柔性排氣孔上安裝一組閥片，閥片的作用是為了盡可能的緩解由于真空泵工作出現(xiàn)的氣壓不穩(wěn)影響到內(nèi)部壓縮作業(yè)效果的情況。