特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎(chǔ)化工材料，特種氣體隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展，應(yīng)用范圍越來越廣泛。隨著國產(chǎn)化的推進(jìn)，部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng)，占據(jù)市場半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品，中國的產(chǎn)能甚至可以滿足全球范圍內(nèi)的需要，但需清醒的看到，從核心競爭力，質(zhì)量管理，品牌效應(yīng)方面來說，我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。

   電子特種氣體種類多，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導(dǎo)體整個制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%，但是由于其品種繁多，在半導(dǎo)體制程工藝中覆蓋廣泛，因此成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示，中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長，僅2016年，中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是，從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國家占據(jù)較好的地位。特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。對于單元高純氣體,根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻(xiàn),匯總起來共有227種,可分成五個類別。

   特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20～30 種。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。目前，國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小?？鐕髽I(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨資的氣體公司，占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。

 電子特種氣體種類多樣行業(yè)集中度高，細(xì)分領(lǐng)域整合開啟進(jìn)口替代新征程。2016 年全球半導(dǎo)體行業(yè)用電子特種氣體市場規(guī)模達(dá)到 36.8 億美元，同比增長 5.7%；國內(nèi)方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元，預(yù)計到 2020 年將突破 68 億元。特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。滅菌特種氣體的主要成分是環(huán)氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯，環(huán)氧乙1烷可殺滅細(xì)1菌（及其內(nèi)孢子）、霉菌及真1菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。