雙軸石英撓性加速度計(jì)批發(fā)撓性的材料為溫度性能好的石英玻璃，外形采用超聲加工而成，撓性元件的加工一般采用化學(xué)腐蝕方法；也可以采用反應(yīng)離子蝕刻工藝加工整個(gè)撓性材料，但造價(jià)很高。雙軸石英撓性加速度計(jì)批發(fā)在結(jié)構(gòu)上強(qiáng)行磁極對頂固定，互為對方的反向磁片，在間隙間形成均勻磁場。當(dāng)有加速度a輸入時(shí)，由撓性材料及力矩線圈組成的敏感質(zhì)量塊相對平衡位置運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生慣性力Fa或慣性力矩，然后通過換能器將此機(jī)械運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成電信號，再通過伺服放大器變成電流信號，電流信號被饋送到處于恒定磁場中的力矩器而產(chǎn)生反饋力Foc或反饋力矩Moc，與輸入加速度引起的慣性力Fa或慣性力矩相平衡，直到再次恢復(fù)到平衡位置。通過分析石英撓性加速度計(jì)的溫度誤差機(jī)理,研究在不同溫度條件下的靜態(tài)輸出特性.利用多次溫度實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),采用更小二乘和多項(xiàng)式擬合的方法建立了石英撓性加速度計(jì)溫度誤差補(bǔ)償模型.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:溫度誤差補(bǔ)償后,石英撓性加速度計(jì)在-20℃到50℃范圍內(nèi)刻度因子漂移量由10-4數(shù)量級提高到10-5數(shù)量級,零偏漂移量由800μg提高到52μg.

石英撓性加速度計(jì)作為加速度敏感傳感器可應(yīng)用于航空設(shè)備在軌微振動(dòng)監(jiān)測。針對石英撓性加速度計(jì),設(shè)計(jì)了一種測量與控制電路,作為在軌微振動(dòng)測量系統(tǒng)的核心組成單元,用于微加速度信號的檢測與調(diào)理、抗混疊濾波、數(shù)據(jù)同步采集、處理、存儲和狀態(tài)控制。實(shí)際測試表明其信號測量精度高,數(shù)據(jù)采集同步性好,工作穩(wěn)定可靠，石英加速度計(jì)因結(jié)構(gòu)簡單、體積小、響應(yīng)快、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，在航空航天眾多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

雙軸石英撓性加速度計(jì)批發(fā)一問世，就很快取代了液浮擺式加速度計(jì)，成為慣性導(dǎo)航和制導(dǎo)系統(tǒng)中不可缺少的關(guān)鍵器件。目前，石英撓性擺式加速度計(jì)已被廣泛應(yīng)用于各種線加速度、振動(dòng)加速度的測量和速度、距離、角速度、角位移等參數(shù)測量。成功地用于微重力測量系統(tǒng)、慣性導(dǎo)航系統(tǒng)、巖土地基鉆孔測量及石油鉆井、連續(xù)測斜系統(tǒng)、航空運(yùn)載、彈道、宇宙飛船等軍民領(lǐng)域。

石英撓性加速度近些年維持每一年8%的提高，現(xiàn)階段在民用的好幾個(gè)行業(yè)獲得廣泛運(yùn)用，石英撓性加速度計(jì)是擺式加速度計(jì)的一種，以結(jié)構(gòu)力學(xué)三大定律做為基本概念準(zhǔn)確測量加速度。雙軸石英撓性加速度計(jì)批發(fā)關(guān)鍵由左右扭矩器、擺部件及其伺服電機(jī)回路構(gòu)成。在其中電磁線圈根據(jù)粘膠方式與石英擺片固連，連在線圈骨架與擺片組成擺部件，完成檢驗(yàn)品質(zhì)的作用，用于比較敏感外部鍵入加速度。石英撓性加速度計(jì)具備構(gòu)造簡易、精度好的特性。在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)軟件、大地測量學(xué)系統(tǒng)軟件中有普遍的運(yùn)用。這類加速度計(jì)的關(guān)鍵缺陷是，準(zhǔn)確測量加速度超出700M/，其離散系統(tǒng)偏差顯著擴(kuò)大，另外不可以承擔(dān)很大的沖擊性震動(dòng)。