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DWS型電容測(cè)微儀是電容不接觸式通用性精密測(cè)量?jī)x器,它既是測(cè)振儀,又是測(cè)微儀,既能測(cè)量動(dòng)態(tài)位移,又能測(cè)量靜態(tài)位移,具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦,無(wú)磨損和無(wú)惰性特點(diǎn)外,還具有信噪比大,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線性小,精度穩(wěn)定性好,抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn),在科學(xué)院、工程院、航天、航空、高等院校、研究所、工廠得到廣泛應(yīng)用,成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不可缺少的測(cè)試儀器。儀器遠(yuǎn)銷國(guó)內(nèi)外,收到國(guó)內(nèi)外用戶的一致好評(píng)?!陡呔炔顒?dòng)式多層環(huán)形電容測(cè)微儀》電容傳感器是一種通過(guò)簡(jiǎn)單的機(jī)械結(jié)構(gòu)就能實(shí)現(xiàn)低功耗、良好的動(dòng)態(tài)性能以及非接觸式測(cè)量等特點(diǎn)的傳感器。
從加工方法的機(jī)理、特點(diǎn)和傳統(tǒng)來(lái)分類,精密和超精密加工又可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復(fù)合加工。傳統(tǒng)加工是指刀具切削加工、固結(jié)磨料和游離磨料的磨削加工;非傳統(tǒng)加工是指利用電能、磁能、聲能、光能、化學(xué)能和核能等對(duì)材料進(jìn)行加工和處理;與此同時(shí),基于STM相似原理與結(jié)構(gòu),相繼產(chǎn)生了一系列利用探針與樣品的不同相互作用來(lái)探測(cè)表面或界面在納米尺度上表現(xiàn)出來(lái)性質(zhì)的掃描探針顯微鏡(SPM),用來(lái)獲取通過(guò)STM無(wú)法獲取的有關(guān)表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的各種信息。復(fù)合加工是采用多種加工方法的復(fù)合作用,進(jìn)行優(yōu)勢(shì)互補(bǔ),相輔相成。當(dāng)前,在制造業(yè)中,占主要地位的仍是傳統(tǒng)加工方法。 在加工精度的量級(jí)上,精密加工是指加工精度為1~0.1?μm,表面粗糙度為0.1~0.025μm的加工技術(shù),超精密加工是指加工精度高于0.1?μm,表面粗糙度小于0.025?μm的加工技術(shù)。目前超精密加工已進(jìn)入納米級(jí)精度階段,故出現(xiàn)了納米加工及其相應(yīng)的技術(shù)。
制造業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)的支柱產(chǎn)業(yè),隨著制造業(yè)的快速發(fā)展,尤其是先進(jìn)制造技術(shù)的出現(xiàn),新工藝、新加工方法不斷涌現(xiàn)。精密加工和超精密加工是先進(jìn)制造技術(shù)的重要支柱,也是提高制造技術(shù)水平的關(guān)鍵。當(dāng)前,在制造自動(dòng)化領(lǐng)域,進(jìn)行了大量有關(guān)計(jì)算機(jī)輔助技術(shù)軟件CAD、CAPP、CAM的開發(fā),計(jì)算機(jī)集成制造技術(shù)CIM、生產(chǎn)模式(如精良生產(chǎn)、敏捷制造、虛擬制造等),以及清潔生產(chǎn)和綠色制造等研究,代表了當(dāng)前制造技術(shù)的一個(gè)重要方面。但這絕非高新制造技術(shù)的全部,作為制造技術(shù)的主戰(zhàn)場(chǎng),仍然要靠精密加工和超精密加工技術(shù)。作為電容式測(cè)微儀的核心,發(fā)展的較為成熟、應(yīng)用較為廣泛的轉(zhuǎn)換電路形式有調(diào)頻式、運(yùn)算放大式、脈沖調(diào)寬式和AC橋路法等。