電子特種氣體是僅次于硅片和硅基材料的第二大市場需求半導體材料，電子氣體2016年的國內(nèi)市場需求為48.02億，占比14%。電子特種氣體中高產(chǎn)品被國外壟斷，該領域主要生產(chǎn)廠家有美國氣體化工、美國普萊克斯、日本昭和電工、德國林德集團、法國液化空氣、日本酸素，合計市場占有率達85%。據(jù)全球半導體協(xié)會統(tǒng)計，目前常用的電子氣體純氣有60多種，混合氣80多種。據(jù)業(yè)內(nèi)不完全數(shù)據(jù)統(tǒng)計，從2012年至2016年，國內(nèi)電子氣體企業(yè)實際生產(chǎn)銷售額占中國晶圓制造電子氣市場需求由3.8%增加至25.0%，雖然國內(nèi)電子氣體占比有了大幅的提升，但其生產(chǎn)總量仍然無法滿足國內(nèi)市場需求，電子特種氣體品種及產(chǎn)量亟待提升。

在整個行業(yè)供應鏈中，氣體原料、裝置、運輸和客戶十分重要，是氣體供應商的利潤來源。如今氣體產(chǎn)品種類繁多，客戶對氣體產(chǎn)品存在多元化需求，往往在某一終端產(chǎn)品的制造中所需氣體種類達幾十種以上，出于成本控制、倉儲管理、供應穩(wěn)定等多方考量，客戶更愿意在一家氣體公司采購，因此希望氣體公司覆蓋更多的氣體種類；此外，下游的行業(yè)產(chǎn)品精細化程度不斷提高，客戶所需的產(chǎn)品定制化特點明顯，并希望供應商提供氣體運輸以及裝置處理、檢修、潔凈、維護等服務，故而對氣體公司提出了技術性、專業(yè)性、綜合性的更高要求。

標準氣體可燃氣體的處理

（1） 可燃氣體的排放，如果排放量較大，應選擇盡可能人少的地方，注意周圍禁止明火，并備有相應的滅火器、砂子和水；

（2） 排放鋼瓶中的可燃氣體，工作人員應站在出氣口的側(cè)面進行操作，以防氣體噴出傷人；

（3） 采用燃燒法處理時，應安裝減壓閥門，控制可燃氣體的速度，盡量使氣體慢慢放出，使之在燃燒裝置內(nèi)充分燃燒掉。

標準氣體惰性氣體的處理

惰性氣體雖然沒有危險性，但大量的惰性氣體集聚，會使周圍氧含量減少，而使人窒息。

1） 在室外適當?shù)牡胤脚欧牛?

（2） 若鋼瓶或儀器在室內(nèi)，可接上排氣導管，使其引到室外緩慢排放。

三種制取氮氣的方法

1、深冷空分制氮，即把壓縮空氣液化，通入分餾塔，然后利用氧氣、氮氣的沸點不同，分離出氮氣（純度基本固定在99.9995%）和富氧（35％的氧氣＋氮氣）。深冷分離是成熟的工藝，一般適合于大型空分，且由于啟動時間在2個小時以上，啟動成本高，所以對用氣連續(xù)性要求很高。適合大型用氮，純度要求高，用氣連續(xù)波動少的用戶。

2、膜分離制氮，即通過膜對氮氣、氧氣通過的選擇性不同制氮的。氮氣純度一般95％左右，膜分離制氮技術還不是很成熟，市場應用不多。

3、變壓吸附制氮（PSA），即利用分子篩不同壓力下對氮氣、氧氣的吸附率不同而制氮的。這也是適合小型制氮的技術。經(jīng)濟制氮的純度范圍可以在99～99.9％。