實(shí)驗(yàn)室氣體管道安裝

【實(shí)驗(yàn)室氣體管路要求】

1、所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無(wú)縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對(duì)氣體純度要求不是太嚴(yán)格的地方。（比如通風(fēng)柜）。

2、氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架鋪設(shè)。

3、易i燃?xì)怏w，如乙i炔需要和其他氣體分開(kāi)單獨(dú)引入。氫氣管道若與其他可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí)，其間距不應(yīng)小于0.5M；交叉敷設(shè)時(shí)間距不應(yīng)小于0.25M。分層敷設(shè)時(shí)氫氣管道應(yīng)位于上方。

4、壓縮空氣在管路上有過(guò)濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨(dú)的閥門(mén)隔離，以方便對(duì)過(guò)濾裝置進(jìn)行維修。

5、高純氣體管路的連接為無(wú)縫焊接。連接到閥門(mén)或調(diào)節(jié)裝置時(shí)才可以使用接頭配件。

6、 每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都要有單獨(dú)的控制閥、減壓閥和壓力表。

7、引到工作臺(tái)的氣體管路要安裝單獨(dú)的控制閥。工作臺(tái)上要均勻排放各種氣體的控制閥門(mén)。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。

8、每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑，設(shè)置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣體管路所有的支架都要進(jìn)行鍍鋅防腐處理。

9、不銹鋼管件在現(xiàn)場(chǎng)安裝時(shí)方可啟封，啟封后均要適用5N的高純氣體吹掃后才能接入系統(tǒng)。整個(gè)系統(tǒng)安裝完成后，還要再使用5N的高純氮?dú)膺M(jìn)行大流量吹掃，以確保整個(gè)系統(tǒng)的潔凈度。

10、供氣系統(tǒng)安裝完成后，根據(jù)要求進(jìn)行相關(guān)的強(qiáng)度測(cè)試、密封測(cè)試和穩(wěn)定性測(cè)試。

【實(shí)驗(yàn)室氣體管路安裝檢驗(yàn)】

實(shí)驗(yàn)室承包商要保證氣體管路系統(tǒng)的清潔，所有氣體管路的檢驗(yàn)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)程序。氣體管路要做壓力檢驗(yàn)，防止管路泄漏。

不同氣體配管要求

腐蝕性能較強(qiáng)的氣體時(shí)，須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則，管材將會(huì)由于腐蝕而在內(nèi)表面產(chǎn)生腐蝕斑，嚴(yán)重時(shí)會(huì)出現(xiàn)大片金屬剝離甚至穿孔，從而污染輸配的純凈氣體。

大流量的高純、高潔凈度氣體輸配管道的連接，原則上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊時(shí)組織不發(fā)生變化。含碳過(guò)高的材料在焊接時(shí)，受焊接部位的透氣，使得管內(nèi)外氣體的相互滲透，破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，導(dǎo)致我們的各項(xiàng)努力全部失去意義。氣體管道安裝聯(lián)接方法管子、管子聯(lián)接件、閥門(mén)和設(shè)備上的進(jìn)出接管間的聯(lián)接方法，由氣體的性質(zhì)、壓力和溫度以及管子的材質(zhì)、尺寸和安裝場(chǎng)所等因素決定，主要有螺紋聯(lián)接、法蘭聯(lián)接、承插聯(lián)接和焊接等四種方法。

高純氣體配管及附件材質(zhì)的選擇

選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。目前超大規(guī)模集成電路前工序高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用不銹鋼光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不銹鋼電拋光管（SS316L-EP）等，但是對(duì)要求控制高純氣體中總雜質(zhì)含量≤1.01.0×10－6及以下的管材應(yīng)用SS316L-EP管。氣體管道安裝氣體管道可能承受許多種外力的作用，包括本身的重量、氣體作用在管端的推力、風(fēng)雪載荷、土壤壓力、熱脹冷縮引起的熱應(yīng)力、振動(dòng)載荷和地i震災(zāi)害等。

注：①管路型式以氣體特性設(shè)計(jì)，惰性氣體使用一般的單層管，作為制程用的反應(yīng)氣體，則選用高i級(jí)別的SS316L-EP管；使用與芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體則選用SS316L-BA管。

②對(duì)于自燃爆i炸，有劇i毒的特種氣體，如SiH4、PH3、AsH3等則考慮使用雙套管，它的內(nèi)/外管材質(zhì)一般為SS316L-EP/SS316L-AP，此設(shè)計(jì)的主要目的有兩點(diǎn)，首先可保護(hù)內(nèi)管直接受到外力撞擊，其次能將由內(nèi)管滲漏的氣體阻絕于外管，并利用相關(guān)的檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)，目前常用的設(shè)計(jì)有正壓和負(fù)壓兩種方式，負(fù)壓設(shè)計(jì)是將內(nèi)外管間抽成真空，正壓設(shè)計(jì)則是灌以氮?dú)饩S持正壓，兩者皆可接上壓力表或者壓力警報(bào)器檢知泄漏狀態(tài)。5、易i燃?xì)怏w（如乙i炔、氫氣等）需要和其它氣體分開(kāi)，單獨(dú)引入。

通常采用的方法有機(jī)械噴砂、化學(xué)溶液清洗、化學(xué)拋光、電拋光等，目前廣泛應(yīng)用的管材有光亮退火管和電拋光管。

高純氣體管道工程的變溫吸附法除水步驟有哪些？

1、用固體CaCl2除水，水份可降低至0.1%（體積）以下；

2、用硫酸洗滌除去高純氣體夾帶的水份，為了除去高純氣體中的雜質(zhì)水，資料表明工業(yè)上常用硫酸洗滌除去高純氣體夾帶的水份。在保持過(guò)程佳工藝的理想條件下，水份可降至0.01%（體積）以下；

3、采用冷凍法來(lái)脫除高純氣體中水，可降到600～1000ppm，夏季水份還要更多些；

4、JMT型干燥劑是一種含硅i鋁比的絲光沸石型分子篩，具有良好的熱穩(wěn)定性，除在300℃前有一脫水而引起明顯吸熱峰外，在900℃前無(wú)明顯的分解峰，說(shuō)明其晶格具有優(yōu)良的穩(wěn)定性。