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對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
潔凈室中的氣流速度規(guī)定
這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時再說明。
對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求;
(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。
(2)吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
潔凈室檢測之靜電檢測與驗收
防靜電工程中的電氣施工交接驗收除應(yīng)符合國家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定外,還應(yīng)符合下列規(guī)定:
A.電子設(shè)備和設(shè)施的電影插座應(yīng)全數(shù)檢測,實(shí)際測得的中性線和接地線之間的電位差應(yīng)不大于1V。
B.繪制相關(guān)的防靜電工程電氣施工竣工圖。
防靜電工程中的接地系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行專項驗收,在交接驗收時應(yīng)提交下列文件和資料。
A.整個接地系統(tǒng)的竣工圖,應(yīng)標(biāo)明各類接地連接點(diǎn)的實(shí)際位置和連接方式。
B.整個接地系統(tǒng)的實(shí)際施工記錄,以及主要材料和配件質(zhì)保書、合格證或出廠檢驗證明。
C.接地連接部位的電氣連接可靠性的檢查記錄和接地連接部位之間的電阻值的測試記錄。
D.接地電阻值的測試記錄和接地裝置的隱蔽驗收簽證。
按電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10694的檢測方法,檢測防靜電安全工作臺的對地泄放電阻值應(yīng)為1.0×105~1.0×109Ω。