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磁控濺射是為了在低氣壓下進(jìn)行高速濺射,必須有效地提高氣體的離化率。通過(guò)在靶陰極表面引入磁場(chǎng),利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來(lái)提高等離子體密度以增加濺射率的方法。
工作原理
磁控濺射的工作原理是指電子在電場(chǎng)E的作用下,在飛向基片過(guò)程中與原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar 和新的電子;豐田采用的是液壓挺桿,而大眾汽車(chē)采用的是桶狀挺桿,同時(shí)還配備了氣門(mén)間隙調(diào)節(jié)墊片以控制氣門(mén)開(kāi)閉時(shí)間。新電子飛向基片,Ar 在電場(chǎng)作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子會(huì)受到電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用,產(chǎn)生E(電場(chǎng))×B(磁場(chǎng))所指的方向漂移,簡(jiǎn)稱E×B漂移,其運(yùn)動(dòng)軌跡近似于一條擺線。若為環(huán)形磁場(chǎng),則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運(yùn)動(dòng),它們的運(yùn)動(dòng)路徑不僅很長(zhǎng),而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi),并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar 來(lái)轟擊靶材,從而實(shí)現(xiàn)了高的沉積速率。隨著碰撞次數(shù)的增加,
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二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠(yuǎn)離靶表面,并在電場(chǎng)E的作用下終沉積在基片上。由于該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,致使基片溫升較低。
該節(jié)氣門(mén)位置傳感器用電阻板是本公司專門(mén)為電噴型汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)節(jié)氣門(mén)位置傳感器設(shè)計(jì)的厚膜電路板。該產(chǎn)品采用絲網(wǎng)印刷、高溫?zé)Y(jié)、激光調(diào)阻等先進(jìn)的厚膜工藝加工而成,產(chǎn)品耐燃油、潤(rùn)滑油及鹽化霧等工業(yè)環(huán)境的腐蝕能力強(qiáng),
輸出線性特性曲線好、抗磨性能強(qiáng),使用壽命長(zhǎng),可用于德國(guó)BOSCH系統(tǒng)和美國(guó)DELPHI系統(tǒng)的節(jié)氣門(mén)位置傳感器。
厚膜漿料盡管種類很多,但的有代表性的仍是導(dǎo)體、電阻和介質(zhì)三種漿料。
漿料制備:根據(jù)不同漿料的配方和組成進(jìn)行稱量、均勻混合后加入適量有機(jī)載體,使粉料均勻分散于載體中,再進(jìn)行研磨和輥軋便可得粉料分散、混合 均勻的厚膜漿料。
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