真空檢漏

超聲波法

該方法實(shí)際上是聽(tīng)音法的一種。它是將泄漏聲音中可聽(tīng)頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測(cè)出泄漏。氫氣檢漏法的工藝和方法批量生產(chǎn)的用戶采用上述控制器進(jìn)行示蹤氣體的充注，達(dá)到收到壓力后控制器會(huì)給出提示，這時(shí)操作人員即可進(jìn)行檢漏操作，然后通過(guò)控制器把氣體排出。檢測(cè)時(shí)，可以直接使用超聲波檢測(cè)器，根據(jù)檢測(cè)儀表指針是否擺動(dòng)，確定有無(wú)泄漏。也可以采用使超聲波回到可聽(tīng)頻率范圍內(nèi)鳴笛的方法。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗(yàn)物加壓時(shí)可以使用，在抽真空時(shí)，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時(shí)也可以使用。

超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測(cè)超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。

該法的靈敏度與被試驗(yàn)物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點(diǎn)與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關(guān)。當(dāng)泄漏點(diǎn)與探頭距離很近時(shí)，超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達(dá)1′10-2cm3/s。

檢漏時(shí)將檢漏器的靈敏度調(diào)到較大，一邊移動(dòng)探頭，一邊偵聽(tīng)，使能聽(tīng)到的超聲波發(fā)出的聲音達(dá)到較大。水壓法對(duì)壓力容器或密封裝置進(jìn)行試驗(yàn)時(shí)，先將容器或密封裝置內(nèi)部裝滿水，再用水泵向里注水，觀察設(shè)備或密封裝置周圍有無(wú)水漏出。然后，再尋找發(fā)出超聲波的位置，以便確定泄漏點(diǎn)。但在探頭不易接近的地方出現(xiàn)泄漏時(shí)，就很準(zhǔn)確地判斷出泄漏點(diǎn)。這種方法操作簡(jiǎn)便，人為因素較小，不同檢測(cè)人員所得到的檢測(cè)結(jié)果基本相同。

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真空設(shè)備檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說(shuō)是一個(gè)檢氦儀，通過(guò)檢測(cè)氦氣的含量來(lái)確定是否有泄漏。而對(duì)氦的檢測(cè)則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測(cè)氦的專用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。1g/y，其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20，同時(shí)氦氣檢漏法要增加一些輔助設(shè)備，如氦氣回收系統(tǒng)等。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。

北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱：科儀創(chuàng)新）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊(cè)資金500萬(wàn)。科儀創(chuàng)新產(chǎn)品主要有：薄膜制備設(shè)備，真空冶金設(shè)備，檢漏設(shè)備，真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品；另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無(wú)油真空獲得設(shè)備；超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。

如何選擇檢漏方式，與檢測(cè)對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測(cè)對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗(yàn)物加壓時(shí)可以使用，在抽真空時(shí)，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時(shí)也可以使用。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負(fù)壓模式。詳細(xì)檢漏方法與測(cè)量工作過(guò)程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過(guò)測(cè)試端口與檢漏儀相連，

待測(cè)器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測(cè)器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。只需測(cè)量待測(cè)器件外部大氣通過(guò)器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。同時(shí)，由于氫氣在一般環(huán)境中的含量濃度都非常低，所以不會(huì)因本底污染而導(dǎo)致誤報(bào)警。如果需要得到精que的漏率數(shù)值，則必須等待整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài)，