氦質(zhì)譜檢漏原理

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無(wú)色、無(wú)味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測(cè)儀器，用于檢漏的一種檢測(cè)技術(shù)，它的檢漏靈敏度可達(dá)10-14～10-15Pa?m3/s，可以準(zhǔn)確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學(xué)控制元件三大部分組成。真空箱式氦檢漏設(shè)備適用對(duì)空腔電力工件進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏SF6充注，首先對(duì)工件充注一定壓強(qiáng)的干燥壓縮空氣或氮?dú)?，保壓判大漏。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機(jī)械泵之間，利用分子泵對(duì)不同氣體具有不同壓縮比的特點(diǎn)，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入磁場(chǎng)，在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn),由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學(xué)特性，偏轉(zhuǎn)半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時(shí)間到達(dá)收集板的氦離子對(duì)應(yīng)于一個(gè)電流信號(hào)，這個(gè)電流信號(hào)正比于進(jìn)入到達(dá)收集板氦離子的數(shù)量，電流信號(hào)經(jīng)過(guò)放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點(diǎn)的漏率，通過(guò)泄漏率大小來(lái)確定該位置泄漏程度的大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因?yàn)楹饩哂幸韵聝?yōu)良特性：

①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環(huán)境中的含量超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)，可以比較容易地探測(cè)到極微量的氦氣；

②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、易穿越漏孔、易于檢測(cè)也易于清除；

③氦離子荷質(zhì)比小，易于進(jìn)行質(zhì)譜分析；

④氦氣是惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)腐蝕和損傷任何設(shè)備；

⑤氦氣無(wú)毒，不凝結(jié)，極難容于水。

今天科創(chuàng)真空小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏的工作原理，希望對(duì)您有所幫助！

真空箱氦檢漏

真空箱氦檢漏，根據(jù)氦檢漏的基本檢漏原理，用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內(nèi)將氦氣充入工件，然后通過(guò)氦檢漏儀能、迅速準(zhǔn)確的判斷工件的泄露情況。

基本技術(shù)參數(shù)編輯真空箱數(shù)量： 根據(jù)實(shí)際需要真空箱容積： 根據(jù)實(shí)際需要示漏氦氣壓力：根據(jù)實(shí)際需要耐壓試驗(yàn)壓力：根據(jù)實(shí)際需要檢漏生產(chǎn)節(jié)拍：根據(jù)實(shí)際需要氦氣回收率： ≧98%‘’

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真空箱式氦檢漏設(shè)備【安裝調(diào)試】

1、交易完成后，供方負(fù)責(zé)給需方安裝調(diào)試。

2、供方將在合同簽定后盡快向需方提供設(shè)備外形尺寸、設(shè)備電功率、供電位置、用水（氣）壓力、用水（氣）量、管徑等。設(shè)備到貨后，供方在7天內(nèi)盡快安裝完成，并由用戶(hù)進(jìn)行水、電、氣等的配套安裝之后，供方再對(duì)設(shè)備進(jìn)行調(diào)試。

3、保證需方及時(shí)方便地使用設(shè)備。

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用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

1、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氮信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

2.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過(guò)漏孔)比氦還好，然而由于氫一方面有 危險(xiǎn)，另- -方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn):大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大,以致靈敏度大大降低，所以很少采用。