氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的？

氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、真空系統(tǒng)、電子線(xiàn)路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的，我們以磁偏轉(zhuǎn)型的氦質(zhì)譜檢漏儀為例進(jìn)行說(shuō)明。

在質(zhì)譜室的離子源N內(nèi)，氣體被電離成離子。在電場(chǎng)作用下離子聚焦成束，并以一定的速度經(jīng)由縫隙S1進(jìn)入磁分析器，在均勻磁場(chǎng)的作用下，具有一定速度的離子束，將按圓形軌跡運(yùn)動(dòng)。調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束M2恰能通過(guò)縫隙S2到達(dá)收集極K而形成離子流。利用弱電流量測(cè)設(shè)備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來(lái)。而其他不同于M2的離子束（如圖中M1，M3）則以不同的偏轉(zhuǎn)半徑而被分開(kāi)。

正壓法氦質(zhì)譜檢漏

采用正壓法檢漏時(shí)，需對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個(gè)大氣壓力的氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通孔漏孔進(jìn)入被檢外表面的周?chē)髿猸h(huán)境中，再采用吸槍的方式檢測(cè)被檢產(chǎn)品周?chē)髿猸h(huán)境中的氦氣濃度增量，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測(cè)量。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸槍法和正壓累積法。

背壓法氦質(zhì)譜檢漏的優(yōu)缺點(diǎn)

背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)，可以進(jìn)行批量化檢測(cè)。

背壓法的缺點(diǎn)是不能進(jìn)行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導(dǎo)致加壓時(shí)間太長(zhǎng)。此外，每個(gè)測(cè)量漏率都對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效標(biāo)準(zhǔn)漏率，在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢，排除大漏的可能。

背壓法的檢漏標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3212-2005《氦質(zhì)譜背壓檢漏方法》、GJB360A-1996《電子及電氣元件試驗(yàn)方法方法112 密封試驗(yàn)》，主要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。