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擴(kuò)散噴射泵:它是一種有擴(kuò)散泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴串聯(lián)組成的一種動(dòng)量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。離子傳輸泵:它是將被電離的氣體在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用下,輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵。氣體捕集泵這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵
旋片式真空泵( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )具有結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,重量輕,噪音低,振動(dòng)小等優(yōu)點(diǎn)。所以,它適用于作擴(kuò)散泵的前級(jí)泵,而且更適用于精密儀器配套和實(shí)驗(yàn)室使用。例如:質(zhì)譜儀器,冰箱流水線,真空冷凍干燥機(jī)等。
羅茨真空泵( Roots Vacuum Pump )是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?,須有前?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi),有較大的抽速,對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機(jī)組的主泵,需要用前級(jí)泵輔助。如:水環(huán)式真空泵,滑閥真空泵,立式無(wú)油真空泵,分子真空泵等。國(guó)內(nèi)最大羅茨真空泵保持紀(jì)錄為20000L/S。
水環(huán)泵也有其缺點(diǎn):效率低,一般在30%左右,較好的可達(dá)50%。真空度低,這不僅是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制,更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液,極限壓強(qiáng)只能達(dá)到2000~4000Pa。用油作工作液,可達(dá)130Pa??傊捎谒h(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可以抽除、的氣體。由于沒(méi)有排氣閥及摩擦表面,故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點(diǎn),盡管它效率低,仍然得到了廣泛的應(yīng)用。
真空泵組閥片的作用:閥片其實(shí)對(duì)于真空泵機(jī)組的運(yùn)行起到了很大的作用,如果閥片受損就會(huì)嚴(yán)重影響機(jī)組的正常運(yùn)轉(zhuǎn)情況,所以這就需要對(duì)閥片做好定期檢查,從而確保閥片能夠長(zhǎng)久保持良好的使用狀態(tài)。真空泵組在運(yùn)行過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)機(jī)械故障,為了預(yù)防這些可能出現(xiàn)的故障,首先保證設(shè)備的密封效果,一般會(huì)在真空泵兩端的柔性排氣孔上安裝一組閥片,閥片的作用是為了盡可能的緩解由于真空泵工作出現(xiàn)的氣壓不穩(wěn)影響到內(nèi)部壓縮作業(yè)效果的情況。