無(wú)塵車(chē)間潔凈室管理制度

1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項(xiàng)目的成功，現(xiàn)場(chǎng)的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對(duì)于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉(cāng)庫(kù)以外的所有主廠房?jī)?nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對(duì)一期主廠房?jī)?nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。

實(shí)力公司用案例說(shuō)話，全國(guó)各地竣工潔凈、凈化、無(wú)塵車(chē)間、廠房工程眾多，免費(fèi)咨詢(xún)、設(shè)計(jì)，可就近安排去感興趣的工程項(xiàng)目實(shí)地參觀考察

無(wú)塵車(chē)間該如何防止微粒子污染呢？

在高等級(jí)的無(wú)塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動(dòng)。無(wú)錫恒盛空調(diào)凈化有限公司始終處在行業(yè)的地位，也早已敏銳的預(yù)知市場(chǎng)需求，提前做好了技術(shù)儲(chǔ)備，近一年來(lái)已經(jīng)承建了多個(gè)生物安全實(shí)驗(yàn)室，并已竣工完成通過(guò)驗(yàn)收，客戶(hù)主要在無(wú)錫、上海、北京等經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)地區(qū)。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過(guò)濾空氣完全交換所計(jì)算出來(lái)的數(shù)值。同時(shí)，空氣的流向也必須要有控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無(wú)阻，因?yàn)樵诹魍窂街杏姓系K物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無(wú)法快速排除而長(zhǎng)時(shí)間漂流在無(wú)塵室內(nèi)，而一部分會(huì)附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。

控制氣流可防止微粒子累積，但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。

為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無(wú)塵室內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對(duì)于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。

凈化無(wú)塵車(chē)間施工的特點(diǎn)

一、潔凈室內(nèi)的污染源：

潔凈室內(nèi)的污染源主要來(lái)自四個(gè)方面：

1、大氣中含塵、含菌、凈化系統(tǒng)中新風(fēng)帶入的塵粒和微生物；

2、作業(yè)人員發(fā)塵；

3、建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)、設(shè)施的產(chǎn)塵。  

二、凈化參數(shù)（一般要求）

換氣次數(shù)：100000萬(wàn)級(jí)≥15次；10000級(jí)≥25次；1000級(jí)≥50次。

平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)（斷面風(fēng)速）0.3-0.5 m/s；

溫度：冬季＞16 ℃ 夏季＜26℃；波動(dòng)±2℃。

相對(duì)濕度宜45-65%；

噪聲≤65dB(A)；

照度≥200LX

請(qǐng)注意你所需要的產(chǎn)品的檔次，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上超凈工作臺(tái)一般分檔為：

經(jīng)濟(jì)型：采用國(guó)標(biāo)的空氣過(guò)濾器，指標(biāo)低于國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，外觀也欠佳;風(fēng)機(jī)一般是采用國(guó)產(chǎn)的普通風(fēng)機(jī)，剛開(kāi)始工作時(shí)性能較好，時(shí)間長(zhǎng)了性能無(wú)法保證;為了降低成本，多不采用外排空氣過(guò)濾器;控制系統(tǒng)簡(jiǎn)單，外觀欠佳。

普通型：全進(jìn)口的或多采用國(guó)外原料和國(guó)外技術(shù)在國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的空氣過(guò)濾器，性能接近進(jìn)口產(chǎn)品;風(fēng)機(jī)采用中檔產(chǎn)品，也有用的風(fēng)機(jī)，比較可靠，但多數(shù)不是為超凈工作臺(tái)的特殊需要而設(shè)計(jì)的，所以長(zhǎng)時(shí)間使用中的風(fēng)量不均勻是它的特點(diǎn);綜合性能比較好，不過(guò)控制系統(tǒng)比較簡(jiǎn)單，玻璃門(mén)一般是手動(dòng)的。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源消耗。

全進(jìn)口產(chǎn)品或多采用原裝的過(guò)濾器;風(fēng)機(jī)使用的是按超凈工作臺(tái)使用特性設(shè)計(jì)的進(jìn)口的風(fēng)機(jī);主要性能較普通型為高;控制系統(tǒng)為用戶(hù)專(zhuān)門(mén)優(yōu)化過(guò)：玻璃門(mén)多數(shù)是由電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的，箱體內(nèi)有傳感器，可以反映過(guò)濾器的工作情況，以提高產(chǎn)品的可靠性，少數(shù)產(chǎn)品使用嵌入式控制系統(tǒng)。2）進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。