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流量控制器如何測混合氣體的流量?
質量流量計是采用感熱式測量百,通過分體分子帶走熱量多少從而來測量流量,因為是用感度熱式測量,所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果 。
即氣體流過加熱元件時將熱量帶走,帶走的熱量與氣體的流速問和氣體的密度成正比。為了保持兩個溫度傳感器的固定溫差需要電路對加熱答元件提供更多的功率,電路中輸出功率的大小與流體的質量有關,由此測量流專量。
此方法,日系發(fā)動機常用。
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流量控制器的穩(wěn)定控制時間
由于到達設定值后控制器可能會發(fā)生超調,所以通常制造商用到達設定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設備響應速度,并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子, 容許范圍2%表示流量波動在設定值的2%以內即為穩(wěn)定。一般質量流量控制器的精度在0.5%~2%之間,但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。③一定要避免超過使用質量流量控制器范圍的情況發(fā)生,這會引起儀表測量度的下降,嚴重時會導致儀表損壞。我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設定值,那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設備精度范圍內。如下面示波器截屏圖所示,控制器在27.6毫秒時到達了與設備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。
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流量控制器
質量流量計 / 質量流量控制器的優(yōu)點
流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。
對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言,很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質的溫度變化。對于普通的流量計,壓力及溫度的波動將導致較大的誤差;對于質量流量計 / 質量流量控制器,則一般可以忽略不計。
準確地定量控制流量
質量流量控制器可以準確地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
選擇產品和訂貨時應當注意
注意選擇合適的響應時間指標
有的應用系統(tǒng)對MFC的響應時間有較高的要求,用戶應根據自己的情況加以考慮。在考慮響應時間指標的同時,還應注意其響應過程及動態(tài)特性。
注意對安裝位置有無要求
有的廠家的產品要求必須水平位置安裝。
注意使用氣體和適用范圍
MFM/MFC 對使用的環(huán)境及介質溫度﹑氣源壓力﹑介質(特別是使用對腐蝕性氣體)情況等均有一定適用范圍,請注意閱讀說明書或向廠家咨詢。
注意接頭形式
通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于應用。
訂貨應注明:
產品名稱、型號、流量規(guī)格、標定氣體、使用氣體(特別是腐蝕性氣體)、接頭形式和數(shù)量。