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總的來說,隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,國內(nèi)的氣體流量傳感器必能取代進(jìn)口的氣體流量傳感器。氣體流量傳感器 - 分類介紹 氣體流量傳感器測量被測流體工作狀態(tài)下的體積流量,測量原理中不涉及流體的溫度、壓力、密度和粘度的影響。其分類如下:
1.氣體流量傳感器物理量可分為位移、力、速度、溫度、流量、氣體成份等氣體流量傳感器
2.氣體流量傳感器按工作原理可分為應(yīng)變式、壓電式、壓阻式、電感式、電容式、光電式、電阻、電容、電感、電壓、霍爾、光電、光柵、熱電偶等氣體流量傳感器。
3.氣體流量傳感器按輸出信號(hào)的性質(zhì)可分為:輸出為開關(guān)量(“1”和'0”或“開”和“關(guān)”)的開關(guān)型氣體流量傳感器;輸出為模擬型氣體流量傳感器;輸出為脈沖或代碼的數(shù)字型氣體流量傳感器。
4.氣體流量傳感器按轉(zhuǎn)換能量的方式分:
1)能量轉(zhuǎn)換型:如:壓電式、熱電偶、光電式傳感器等;
2)能量控制型:如:電阻式、電感式、霍爾式等傳感器以及熱敏電阻、光敏電阻、濕敏電阻等;
5.氣體流量傳感器按照工作機(jī)理可分為:
1)結(jié)構(gòu)型:如:電感式、電容式傳感器等;
2)物性型:如:壓電式、光電式、各種半導(dǎo)體式傳感器等;
6.氣體流量傳感器按輸出信號(hào)的形式可分為:
1)模擬式:傳感器輸出為模擬電壓量;
2)數(shù)字式:傳感器輸出為數(shù)字量,如:編碼器式傳感器。
氣體流量傳感器應(yīng)用廣泛,種類繁多,分類方式也多種多樣
壓電陶瓷比石英晶體的壓電靈敏度高得多,而制造成本卻較低,因此目前國內(nèi)外生產(chǎn)的壓電元件絕大多數(shù)都采用壓電陶瓷。
(1)鈦酸鋇(BaTiO3)壓電陶瓷具有較高的壓電系數(shù)和介電常數(shù),機(jī)械強(qiáng)度不如石英。
?。?)鋯鈦酸鉛Pb(Zr·Ti)O3系壓電陶瓷(PZT)壓電系數(shù)較高,各項(xiàng)機(jī)電參數(shù)隨溫度、時(shí)間等外界條件的變化小,在鋯鈦酸鉛中添加一兩種微量元素,可以獲得不同性能的PZT材料。
?。?)鈮鎂酸鉛Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3壓電陶瓷(PMN)具有較高的壓電系數(shù),在壓力大至700kg/cm2仍能繼續(xù)工作,可作為高溫下的力傳感器。
同時(shí)大量研究也表明,各種弛豫鐵電體與 PZT陶瓷相組合,以及對(duì)這種系統(tǒng)的壓電陶瓷進(jìn)行離子置換和摻雜改性,可獲得高介電、高壓電性能的材料,這使得壓電陶瓷的研究前景更為廣闊。但是用Ph和Ca等元素部分地取代BaTiO,中的Ba,可以改進(jìn)BaTiO,陶瓷的溫度特性,故在廣泛使用PZT壓電陶瓷的今天,仍有部分壓電換能器采用改性的BaTiO。