潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。

具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

潔凈室材料設(shè)備主要有各類裝飾材料和空調(diào)設(shè)備材料。

對(duì)裝飾材料應(yīng)嚴(yán)格按國(guó)家有關(guān)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)、施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范和設(shè)計(jì)文件的要求進(jìn)行檢驗(yàn)和驗(yàn)證。潔凈室應(yīng)使用不產(chǎn)塵、不積塵、耐腐蝕、防潮防霉和容易清潔并具有防火功能的材料，不能使用木材和石膏板作表面裝飾材料?？照{(diào)保溫材料也必須符合國(guó)家有關(guān)規(guī)定達(dá)到耐腐蝕、不產(chǎn)塵、不附著灰塵和防火等要求。

潔凈車間應(yīng)用的行業(yè)：

1、微電子工業(yè)

微電子工業(yè)是當(dāng)前對(duì)潔凈室要求高工業(yè)潔凈業(yè)。此外，如現(xiàn)代工業(yè)中的液晶、光纖等的生產(chǎn)，同樣均有潔凈度的要求。

2、醫(yī)行業(yè)

 大家都知道，醫(yī)行業(yè)對(duì)于醫(yī)產(chǎn)品以及藥的生產(chǎn)都是有很嚴(yán)格的規(guī)范（1）藥品生產(chǎn)我國(guó)的《藥品生產(chǎn)管理規(guī)范》（又稱GMP）已在全國(guó)范圍內(nèi)實(shí)施，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境提出了相應(yīng)于工藝過程的不同潔凈級(jí)別要求。除了限定空氣中塵埃粒子的大小和含量外，對(duì)生物粒子（細(xì)菌數(shù)）也有明確的限制。藥品是用于預(yù)防、治疾病和恢復(fù)、調(diào)整機(jī)體功能的特殊商品，它的質(zhì)量直接關(guān)系到人的健康和安危。如果一些藥品在制造過程中受到微生物、塵粒等污染或交叉污染，可能會(huì)產(chǎn)生預(yù)料不到的疾病和危害。醫(yī)行業(yè)生產(chǎn)藥類或者是各種設(shè)備，都是需要通過潔凈車間來進(jìn)行加工生產(chǎn)，在潔凈的車間內(nèi)進(jìn)行加工，可以保證整體的空氣潔凈度符合國(guó)家的標(biāo)準(zhǔn)。

（2）醫(yī)院白病的治室、燒病房、外手術(shù)室，根據(jù)條件用相應(yīng)的潔凈技術(shù)來防止空氣中的細(xì)菌感1染，對(duì)治起到環(huán)境保障作用。

（3）醫(yī)學(xué)科學(xué)實(shí)驗(yàn)對(duì)于實(shí)驗(yàn)動(dòng)物的飼養(yǎng)、遺傳工程等學(xué)科實(shí)驗(yàn)工程，也應(yīng)該具備潔凈環(huán)境，才能取得有效的成果。