無塵室內的氣流是左右無塵室性能的重要因素，一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區(qū)域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，能以適當的風速供應，以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。無塵室（無塵廠房）主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態(tài)。

     在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，故應在過程中嚴格控制微粒子的數量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。

　 無塵室內的浮游微粒子濃度，使用的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產現場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

   (1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經濟性一般往往可取。

   (2)潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率100%時，對大的系統(tǒng)采用FFU，當前還是不經濟的;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。

   (3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經濟性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統(tǒng)已經普遍。

    潔凈室吸塵器是無塵廠房、車間專用的強力真空專用吸塵器，可迅速、便捷、地完成清潔工作。特點：超高過濾效果，可有效的除去對呼吸氣管造成過敏的有害粉塵，減少呼吸疾病的發(fā)生。當你使用專用吸塵器時，可以減少您清潔廠房的次數，因為它不會二次擴散灰塵，并可凈化室內空氣。有完備的各類吸嘴，任何角落皆可輕松清潔干凈。較強的吸力可吸除更深層的粉塵。設計新穎輕巧，符合人體工學，操作時不會腰酸背痛,減少人體不適。專用吸塵器可專門針對防塵爆及有毒粉塵，如石棉，鉛等物質，美國太空總署特別使用專用專用吸塵器清除貨倉內的微細粉塵。2μm過濾器為之，一般洗滌周期視清潔度等級而定，在高潔凈區(qū)為2～3天，其他區(qū)域則為5天～1星期，洗滌完畢干燥后應立即密封。