直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等，凈化車間設(shè)計時，要根據(jù)實際情況選擇。布置工藝的流程盡可能短，減少交叉往復(fù)，、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室，除配備產(chǎn)品工序要求的用室外，還應(yīng)配備潔具室、洗衣間、暫存室等，每間用室相互，凈化工程的面積應(yīng)在保證基本要求前提下，與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)。

在實際施工中，凈化項目通常分為，分工和分時。 這種安排有利于各種和工作類型的管理。 但是，易于進行多塵和無塵的交叉操作，應(yīng)盡可能避免這種結(jié)構(gòu)布置。 如果不可避免，應(yīng)該防止灰塵和有效清潔。對不同潔凈度等級的潔凈室，產(chǎn)生粉塵和有害氣體的潔凈室，被排介質(zhì)毒性大的、有易1燃易1爆氣體的崗位，應(yīng)單獨設(shè)局部排風(fēng)系統(tǒng)。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。

現(xiàn)在我們國家的經(jīng)濟科技在發(fā)展，同時帶動了社會各行各業(yè)在告訴發(fā)展中。以凈化工程這個行業(yè)為例，在目前呈現(xiàn)一片喜人的發(fā)展態(tài)勢。排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等，凈化車間設(shè)計時，要根據(jù)實際情況選擇。凈化工程在設(shè)計時，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國家相關(guān)標準、規(guī)范進行。

凈化工程在設(shè)計時，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國家相關(guān)標準、規(guī)范進行。潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等，凈化車間設(shè)計時，要根據(jù)實際情況選擇。