無塵車間--對鋪設(shè)場地的要求：

　　1、地板的鋪設(shè)應(yīng)在室內(nèi)土建及裝修施工完畢后進行；

　　2、地面應(yīng)平整、干燥、無雜物、無灰塵；

　　3、地板下可使用空間，布置敷設(shè)電纜、電路、水路、空氣等管道及空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)在安裝地板前施工完畢；

　　4、大型重設(shè)備基座固定應(yīng)完工，設(shè)備安裝在基座上，基座高度應(yīng)同地板上表面完成高度一致；

　　5、施工現(xiàn)場備有220V/50HZ電源及水源。

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無塵車間該如何防止微粒子污染呢？

在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。風淋室是現(xiàn)代工業(yè)潔凈廠房中必不可少的潔凈配套設(shè)備，它能去除人和物表面的塵埃，同時又對風淋室兩側(cè)的潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)起到了緩沖與隔離的作用。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。

無塵車間的節(jié)能原則

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調(diào)（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動部分之發(fā)塵。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設(shè)計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高的效率的設(shè)計和高的效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟漩渦當中 。