1、受潮濕的石墨電極，使用前要烘干。

2、去除備用石墨電極孔上的泡沫塑料保護(hù)帽，檢查電極孔內(nèi)螺紋是否完整。

3、用不含油和水的壓縮空氣清理備用石墨電極表面和孔內(nèi)螺紋;避免用鋼絲團(tuán)或金屬刷砂布清理。

4、將接頭小心地旋入備用石墨電極一端(不建議將接頭直接裝入爐上撤換下來(lái)的電極)的電極孔內(nèi)，不得碰撞螺紋。

5、將電極吊具(建議采用石墨材質(zhì)的吊具)擰入備用電極另一端的電極孔內(nèi)。

6、起吊電極時(shí)，墊松軟物到備用電極裝接頭一端的下面，以防止地面碰損接頭;用吊鉤伸入吊具的吊環(huán)后吊起，吊運(yùn)電極要平穩(wěn)，防止電極由B端松脫或與其它的固定裝置碰撞。

由于高純石墨坩堝具有良好的熱導(dǎo)性和耐高溫性能，在高溫使用中，熱膨脹系數(shù)小，對(duì)急熱、急冷具有一定的抗應(yīng)變能力，對(duì)酸堿性溶劑的抗腐蝕性能較強(qiáng)，具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性。高純石墨坩堝應(yīng)用范圍十分廣泛，主要應(yīng)用于熔煉各種銀、鋁、鉛、銅、鋅等有色金屬及中碳鋼和稀有金屬。高純石墨坩堝質(zhì)量穩(wěn)定，碳?xì)謨r(jià)格，使用壽命長(zhǎng)，大幅度降低了燃耗，降低了人工勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了人工勞動(dòng)強(qiáng)度，創(chuàng)造了更好的經(jīng)濟(jì)效益。

石墨舟推舟系統(tǒng)：石墨舟推舟系統(tǒng)采用軟著陸的方式，即將石墨舟放到反應(yīng)管內(nèi)部后，石墨舟推舟機(jī)構(gòu)將退出，自動(dòng)門(mén)關(guān)上。載片舟是經(jīng)特殊設(shè)計(jì)，在X軸、Y軸、Z軸三個(gè)方向可微調(diào)，再經(jīng)精加工而成。它直接影響到電場(chǎng)的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結(jié)構(gòu)有關(guān)，所以推舟系統(tǒng)是本設(shè)備的核心部件。 管式PECVD系統(tǒng)：即使用像擴(kuò)散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個(gè)可以放置多片硅片的石墨舟插進(jìn)石英管中進(jìn)行沉積。