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真空鍍膜則是相對(duì)于上述的濕式鍍膜方法而發(fā)展起來(lái)的一種新型鍍膜技術(shù),通常稱(chēng)為干式鍍膜技術(shù)。
真空鍍膜技術(shù)一般分為兩大類(lèi),即物理氣相沉積(PVD)技術(shù)和化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)。
物理氣相沉積技術(shù)是指在真空條件下,利用各種物理方法,將鍍料氣化成原子、分子或使其離化為離子,直接沉積到基體表面上的方法。制備硬質(zhì)反應(yīng)膜大多以物理氣相沉積方法制得,它利用某種物理過(guò)程,如物質(zhì)的熱蒸發(fā),或受到離子轟擊時(shí)物質(zhì)表面原子的濺射等現(xiàn)象,實(shí)現(xiàn)物質(zhì)原子從源物質(zhì)到薄膜的可控轉(zhuǎn)移過(guò)程。物理氣相沉積技術(shù)具有膜/基結(jié)合力好、薄膜均勻致密、薄膜厚度可控性好、應(yīng)用的靶材廣泛、濺射范圍寬、可沉積厚膜、可制取成分穩(wěn)定的合金膜和重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)。同時(shí),物理氣相沉積技術(shù)由于其工藝處理溫度可控制在500℃以下,因此可作為終的處理工藝用于高速鋼和硬質(zhì)合金類(lèi)的薄膜刀具上。由于采用物理氣相沉積工藝可大幅度提高刀具的切削性能,人們?cè)诟?jìng)相開(kāi)發(fā)、高可靠性設(shè)備的同時(shí),也對(duì)其應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展,尤其是在高速鋼、硬質(zhì)合金和陶瓷類(lèi)刀具中的應(yīng)用進(jìn)行了更加深入的研究。
化學(xué)氣相沉積技術(shù)是把含有構(gòu)成薄膜元素的單質(zhì)氣體或化合物供給基體,借助氣相作用或基體表面上的化學(xué)反應(yīng),在基體上制出金屬或化合物薄膜的方法,主要包括常壓化學(xué)氣相沉積、低壓化學(xué)氣相沉積和兼有CVD和PVD兩者特點(diǎn)的等離子化學(xué)氣相沉積等。
真空鍍膜機(jī)泵有哪幾種類(lèi)型
很多人對(duì)真空鍍膜機(jī)很了解,對(duì)真空鍍膜機(jī)泵卻接觸很少,也不知道真空鍍膜機(jī)泵到底有啥作用,分那幾類(lèi),下面為大家詳細(xì)介紹一下,真空鍍膜機(jī)泵有幾大類(lèi),它們各自原理是怎樣的。真空鍍膜機(jī)有三個(gè)泵的:機(jī)械泵(一般是油旋轉(zhuǎn)泵),增壓泵又叫羅茨泵,高真空泵(擴(kuò)散泵或者分子泵)。
機(jī)械泵是從大氣開(kāi)始工作的,機(jī)械泵排氣的效果還與電機(jī)的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有關(guān)系,當(dāng)電機(jī)的皮帶比較松,電機(jī)轉(zhuǎn)速很慢的時(shí)候,機(jī)械泵的排氣效果也會(huì)變差,所以要經(jīng)常保養(yǎng),點(diǎn)檢,機(jī)械泵油的密封效果也需要常常點(diǎn)檢,油過(guò)少,達(dá)不到密封效果,泵內(nèi)會(huì)漏氣,油過(guò)多,把吸氣孔堵塞,無(wú)法吸氣和排氣,一般,在油位在線(xiàn)下0.5厘米即可。
增壓泵,它是具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形轉(zhuǎn)子的機(jī)械泵,由于它的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相同,所以又可以叫羅茨真空泵,此泵在100-1帕壓強(qiáng)范圍內(nèi)有較大的抽氣速度,它彌補(bǔ)了機(jī)械泵在此范圍內(nèi)排氣能力不足的缺點(diǎn),此泵不能從大氣開(kāi)始工作,也不能直接排出大氣,它的作用僅僅是增加進(jìn)氣口和排氣口之間的壓差,其余的則需要機(jī)械泵來(lái)完成,因此,它必須配以機(jī)械泵作為前級(jí)泵。
油擴(kuò)散泵,機(jī)械泵的極限真空只有10-2帕,當(dāng)達(dá)到10-1帕的時(shí)候,實(shí)際抽速只有理論的1/10,如果要獲得高真空的話(huà),必須采用油擴(kuò)散泵。
冷成型模真空鍍膜機(jī)
高強(qiáng)度材料成形冷成型模真空鍍膜機(jī)高強(qiáng)度金屬成型中存在的高成型壓力和產(chǎn)生的摩擦成為工模具和涂層要面對(duì)的重要挑戰(zhàn)。PVD和CVD涂層展示的韌性、耐磨性和抗磨損性能顯著提高工具的生產(chǎn)能力。
HC90Concept,作為一種無(wú)需氮化處理的新型物理氣相沉積(PVD)涂層,對(duì)于這些應(yīng)用領(lǐng)域來(lái)講是非常理想的解決方案。HC22,HC25,HC30或HC62,均結(jié)合了氮化處理,對(duì)于公差要求高的工具是非常合適的涂層方案。HC02和HC62是非常適合公差要求不高工具的涂層方案。
有色金屬材料成型有色金屬材料通常比一般鋼材有更好的成形性,但其表面更難改變。HCPVD和PACVD涂層工藝的韌性、耐磨性、低摩擦和抗磨損性能夠顯著加強(qiáng)工具的生產(chǎn)能力,提高零部件的質(zhì)量。冷鍛冷鍛是一種將固定大小的金屬塊組合成等量的復(fù)雜形狀的成型工藝。此過(guò)程中的工模具要經(jīng)受高強(qiáng)度的壓力和高速率,和工件接觸的表面必然會(huì)產(chǎn)生磨料和粘著磨損。HCPVD和PACVD和HCCVD涂層工藝的韌性、耐磨性和低摩擦性能能夠顯著提高工模具的使用壽命和產(chǎn)品的質(zhì)量。
包裝卷繞真空鍍膜設(shè)備
HCPAK系列卷繞鍍膜設(shè)備是用于鋁屏障包裝應(yīng)用的卷對(duì)卷金屬化解決方案。在利潤(rùn)率較低的行業(yè)中,的生產(chǎn)效率,再加上的產(chǎn)品性能,是應(yīng)對(duì)未來(lái)挑戰(zhàn)的答案。
通過(guò)將傳統(tǒng)的鋁涂層沉積到寬范圍的柔性基板上增強(qiáng)光學(xué)、保護(hù)和阻隔性能。HCPAK系列覆蓋了1100~3850mm的寬幅,以及所有常見(jiàn)的塑料薄膜和紙張基材,針對(duì)2500mm以上大寬幅基材以不同的速度實(shí)現(xiàn)輸出,比傳統(tǒng)系統(tǒng)提高25%以上的處理速度。
特點(diǎn):高正常運(yùn)行時(shí)間,因?yàn)橐粋€(gè)強(qiáng)大和服務(wù)友好的機(jī)器概念由于強(qiáng)大的等離子預(yù)處理,產(chǎn)品一致性高,阻隔性能提高由于鋁蒸發(fā)器源的優(yōu)化配置,在層均勻性方面具有的產(chǎn)品質(zhì)量簡(jiǎn)化操作和優(yōu)化設(shè)計(jì),便于操作的設(shè)備卷繞系統(tǒng)的創(chuàng)新設(shè)計(jì)概念使卷繞路徑能夠靈活地適應(yīng)基板和應(yīng)用的個(gè)別要求。由于穩(wěn)健的機(jī)器設(shè)計(jì),正常運(yùn)行時(shí)間很長(zhǎng)