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什么是高純氣體?
改革開放以來,隨著我國高新技術(shù)的快速發(fā)展,計算機工業(yè)對大規(guī)模集成電路與液晶顯示器的需求量增加;隨著新型能源的發(fā)展,我國大力開拓了多晶硅太陽能電池和薄膜太陽能電池的生產(chǎn);此外,新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件也過的迅猛發(fā)展,上述高新產(chǎn)品的生產(chǎn)中,都需要大量高純氣體,以制造出性能可靠的各種器件。什么是高純氣體?半導(dǎo)體集成電路所需要的高純氣體主要分為兩大類:1、普通氣體:也叫大宗氣體,主要有:H2、N2、O2、Ar、He等。但在地方政府的指令下,華北各地的工業(yè)制造工廠的停、減產(chǎn)范圍有進一步擴大,氣體消耗應(yīng)用出現(xiàn)了一定程度的下降。2、特種氣體:主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、蝕刻用氣體等。標準氣體的使用注意事項
1、可燃氣體的燃爆限,從安全的角度出發(fā),在制備標準氣體之前,必須對標準氣體混合的可行性進行研究。高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機高純氣體,和無機高純氣體。特別要考慮各組分氣體的燃爆極限,在制備由可燃氣體和氫氣(或氧氣)組成的標準氣體時,要注意組分氣體含量是否超過燃爆限的問題。否則在制備過程中,可能發(fā)生燃爆事故。燃爆限是可燃性氣體的重要技術(shù)數(shù)據(jù)。在配制含有可燃氣體組分的標準氣體前,必須了解該組分的燃爆限,以確保安全。
2、氣體的飽和蒸氣壓及其他性能,要了解各組分的飽和蒸氣壓及其他性能,考虎是否會產(chǎn)生冷凝作用、標準氣體中組分與鋼瓶同僻壁材質(zhì)之間的作用、各組分間的反應(yīng)等。