特長

● 潔凈的真空

● 腔體內沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能

● 能在高吸入壓強下運作

用途

◆ 照明、電子、光學、半導體

◆ 鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入

◆ 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣

◆ 真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐

◆ 分析儀器、檢漏設備、CO2激光設備

特長

● 低溫領域下的均熱化。

● 低噪音、低振動

● 優(yōu)良的耐腐蝕性

● 多種自主功能選購件

用途

◆ 活性氣體

◆ 非活性氣體

◆ 用于產生粉塵工藝中的排氣

◆ 作為前級泵使用

◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣

可提供的選購件有：真空計、油霧過濾器、電磁閥、配管、真空管、流量計、各種接管

TM系列油霧過濾器

當油回轉真空泵在大氣壓下啟動或粗真空下運轉時，真空泵油會與被抽進去的氣體一起

排出。這種廢氣由許多微小的油滴組成，以煙霧的形式從泵的排氣口排出。TM系列油霧

過濾器可以確保一個清潔的環(huán)境，保護室內設備免受油霧污染。

                    特點

               ● 過濾油霧

               ● 減少噪音

               ● 內部濾芯更換方便

               ● 油回收方法可選（選購件），與泵連接方便。

愛發(fā)科寧波合資企業(yè)生產：羅茨泵系列：NB100A;NB300A;NB600A;NB1200A;PMB-001C;一PMB-003C;一PMB-006C油旋片真空泵系列:VS-1501;VS-2401;VD-301;VD-401;GLD-136;GLD-201;PVD-180;PVD-360;VSN1501;VSN2401;VDN301;VDN401;GLD-N136;GLD-N201;GLD-N051;GLD-N280;PVD-N180;PVD-N360;多種真空泵油系列：R-4;R-7;R-80;TM系列油霧過濾器：TM-151;TM-201;TM-401;TM-3;TM-4;

ULVAC機工株式會社作為專門制造銷售小型真空泵及小型真空儀器、裝置的廠家，產品應用于各行業(yè)的高、中、低真空領域。特別是真空儀器、裝置上配用的小型真空泵，產品品種、品質均處于世界地位，滿足了各小型真空泵的專業(yè)使用廠家的需求。

愛發(fā)科真空泵

株式會社ULVAC作為追求真空極限（Ultimate in Vacuum)的真空技術先驅，以電子技術及信息通信技術為首，在能源、環(huán)保、運輸、食品、化工、生物工程等廣闊的領域，以生產設備為中心、提供先進的真空技術產品。愛發(fā)科ULVAC主要生產各種油旋片泵、羅茨泵、機組（含規(guī)格品）、排氣小車。特別是在半導體制造設備及平面顯示器等制造設備方面，以真空技術為基礎，進行了各種技術開發(fā)，已經和正在提供作為制造工藝重要部分的先進設備。