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曝光顯影加工電話咨詢 清溪利成感光

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發(fā)布時(shí)間:2021-08-03 09:18  

感光(曝光)完成后就要進(jìn)行下一步工作——顯影。顯影的目的是通過顯影藥將未曝光的地方?jīng)_走,經(jīng)過曝光的地方固化,這樣就能確定需要被腐蝕和不被腐蝕的圖案。以便后續(xù)蝕刻加工的精度。

曝光后要檢測(cè)曝光后的圖形質(zhì)量,若有遺漏需要進(jìn)行人工補(bǔ)油補(bǔ)點(diǎn)。補(bǔ)油后需要進(jìn)行第二次烘烤。

之后就進(jìn)行顯影,確定圖形的清洗度,顯影過程中主要是控制藥的濃度,溫度,速度以及完成后的烘干溫度。


蝕刻速度決定了蝕刻加工周期的長(zhǎng)短,蝕刻速度越快,蝕刻加工周期越短,生產(chǎn)效率越高,反之生產(chǎn)效率較低。但是,蝕刻速度也并非越快越好:

對(duì)于整體蝕刻或成型的化學(xué)蝕刻加工及鏤空?qǐng)D文的蝕刻往往都是兩個(gè)面同時(shí)進(jìn)行。這種雙面蝕刻加工的速度比只在一個(gè)面進(jìn)行的蝕刻加工的速度快1倍,在金屬材料一定的情況下,影響蝕刻加工速度的因素很多,其中主要的是蝕刻劑的種類、濃度及蝕刻溫度。如果蝕刻劑的濃度及蝕刻條件一定,材料的特性及熱處理狀態(tài)對(duì)蝕刻加工的速度同樣有很大的影響。




蝕刻深度的均勻性主要受4個(gè)方面的影響:材料、蝕刻溶液、蝕刻過程的物理參數(shù)和蝕刻時(shí)間。綜上所述,可以知道影響確定蝕刻速度的因素主要有蝕刻深度要求及公差要求。對(duì)于蝕刻深度大的工件可以設(shè)計(jì)成高蝕刻速度的工藝方案當(dāng)對(duì)公差要求高時(shí)可采用分次蝕刻的方法進(jìn)行,即先采用高速度的蝕刻方法,當(dāng)接近設(shè)計(jì)要求深度時(shí)采用低蝕刻速度的方法來保證公差。對(duì)于蝕刻深度淺、公差要求嚴(yán)的工件則應(yīng)采用蝕刻速度較慢的工藝方法。


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