精密和超精密加工技術簡介

就先進制造技術的技術實質性而論，主要有精密和超精密加工技術與制造自動化兩大領域。前者包括了精密加工、超精密加工、微細加工，以及廣為流傳的納米加工，它追求加工上的精度和表面質量的極限，可統(tǒng)稱為精密工程；STM具有極高的空間分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分別達到0。后者包括了設計、制造和管理的自動化，它不僅是快速響應市場需求、提高生產(chǎn)率、改善勞動條件的重要手段，而且是提高產(chǎn)品質量的有效方式。兩者密切聯(lián)系，許多精密和超精密加工要靠自動化技術才能達到預期目標，而不少制造自動化則有賴于精密加工才能達到設計要求。

由于超精密加工的精度等級和表面質量都很高，因此，一定要有相應的檢測手段，才能驗證工件是否達到了相應的技術要求。在精密超精密加工和測量中，對測量技術提出了更為嚴格的要求，即要求測量誤差比加工誤差高一個數(shù)量級。目前，超精密測量儀正向高分辨力、高準確度和高可靠性的方向發(fā)展。公司發(fā)展了分辨率均可以達到1?nm的測量元件；基于頻率跟蹤的F-P標準具測量技術具有極高的靈敏度和準確度,其精度0。美國HP、zygo、英國Taylor等公司的測量儀器均可以滿足納米測量的需求。