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薄膜厚度測(cè)量的行業(yè)須知「在線咨詢(xún)」

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發(fā)布時(shí)間:2020-08-06 05:38  






變化極距式電容傳感器

當(dāng)動(dòng)極板受被測(cè)物體作用引起位移時(shí),改變了兩極板之間的距離d,從而使電容量發(fā)生變化。

實(shí)際使用時(shí),總是使初始極距d0盡量小些,以提高靈敏度,但這也帶來(lái)了變極距式電容器的行程較小的缺點(diǎn)。

a)結(jié)構(gòu)示意圖      b)電容量與極板距離的關(guān)系

從圖中可以看到,為了提高靈敏度,應(yīng)使d0小一些為好,但行程變小(動(dòng)靜極板接觸)



工業(yè)制造中需要用到多種設(shè)備,非接觸式位移傳感器就是為工業(yè)環(huán)境所設(shè)計(jì),適用于重度污染和粉塵大的惡劣環(huán)境,安裝方便。那么非接觸式位移傳感器的工作原理是怎樣的呢?以下是申思測(cè)控小編的分享:

非接觸式位移傳感器采用先進(jìn)的超聲波測(cè)量技術(shù),在測(cè)量位置精度上可以輸出高精密的線性和信號(hào)。非接觸式位移傳感器外殼采用鋁合金一次成型加工,通過(guò)與磁鐵滑塊高的精度配合的模式進(jìn)行非接觸式測(cè)量。其優(yōu)勢(shì)可以取代電阻式電阻尺,采用非接觸式測(cè)量方式在機(jī)械方面不用修改參數(shù)即可。接觸式位移傳感器在安裝方面貼合了機(jī)械結(jié)構(gòu)的便利性,不但安裝簡(jiǎn)易、牢固,在其控制精度方面也高達(dá)0.01%FS,可以在直接和的位置檢測(cè)反饋。如果這種位移傳感器在伺服系統(tǒng)中用作位移反饋元件,則過(guò)大的階躍電壓會(huì)引起系統(tǒng)振蕩。







直線位移傳感器也叫電子尺實(shí)際上就是一個(gè)滑動(dòng)變阻器,那么直線位移傳感器在使用時(shí)應(yīng)注意哪些事項(xiàng)呢?首先電子尺是作為分壓器使用,以相對(duì)電壓來(lái)顯示所測(cè)量位置的實(shí)際位置。因此,就對(duì)這個(gè)裝置(電子尺)提出了幾點(diǎn)要求:

不能接錯(cuò)電子尺的三條線,1#、3#線是電源線,2#是輸出線除1#、3#線電源線可以調(diào)換外,2#線只能是輸出線。上述線一旦接錯(cuò),將出現(xiàn)線性誤差大,控制精度差,容易顯示跳動(dòng)等現(xiàn)象。如果出現(xiàn)控制非常困難,就應(yīng)該懷疑是接錯(cuò)線。安裝對(duì)中性要好,角度容許±12°誤差,平行度偏差容許±0.5mm,是指某一誤差,如果角度誤差和平行度誤差都偏大,就會(huì)導(dǎo)致顯示數(shù)字跳動(dòng)。在這種情況下,一般可以用萬(wàn)用表的電壓檔測(cè)出電壓的波動(dòng)。一定要作角度和平行度的調(diào)整。當(dāng)被測(cè)物的振動(dòng)導(dǎo)致與其固連的傳感器基座振動(dòng)時(shí),質(zhì)量塊將由于慣性而保持靜止,因此上、下固定電極與質(zhì)量塊之間將會(huì)產(chǎn)生相對(duì)位移。請(qǐng)?zhí)貏e注意:在現(xiàn)場(chǎng)將電子尺的鋁合金支架更換成不銹鋼支架后,同時(shí)應(yīng)將拉桿牽引安裝位升高2 Mm。





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