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磁控濺射鍍膜機
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目前國內窗膜行業(yè)的批發(fā)商及終端店很多人都吃過磁控鍍銀膜氧化的虧,產品賣出后幾個月,開始大面積氧化,需要賠償,甚至還失去了客戶。特別是NSN系列在13、14年出的問題特別多,搞得很多人談磁控膜色變的地步。而在15、16年后,問題得到解決。慢慢地就沒多少氧化問題出現(xiàn)了。這也讓很多剛接觸磁控膜的人以為磁控膜都是鍍銀的膜,一說磁控膜就問會不會氧化。其實大可不必擔心,大部分的側檔都不是銀的,請放心使用。且這兩年的技術進步,國內各磁控工廠也找到了解決氧化的方法。實際上,每個設備都有使用壽命,例如,擴散泵用的硅油,使用壽命為兩年左右,我們提早更換,這是浪費嗎。其實在玻璃鍍膜行業(yè),早就解決了氧化問題,我記得早期的low-e玻璃在鍍膜后必須在24小時內合成中空,不然就會氧化。當時low-e與中空都是鍍膜廠做的,下邊玻璃加工廠根本無法介入,而現(xiàn)在鍍膜廠只需生產玻璃鍍膜原片。且玻璃原片爆露在空氣中可達6個月以上,都不會氧化。這樣中空玻璃,一些門窗廠,幕墻公司、小規(guī)模的玻璃深加工工廠,都可以生產low-e中空玻璃了,加上政府政策的支持與引導,大大的加快了low-e玻璃的發(fā)展與普及。做窗膜磁控濺射鍍膜的應多去看看玻璃行業(yè)的low-e鍍膜,多些交流。畢竟生產原理是一樣的東西,技術是相通的。很多東西是可以套用的,low-e鍍膜得到了規(guī)?;陌l(fā)展,技術工藝已非常成熟了。窗膜磁控濺射鍍膜終是要與玻璃配套的,如何與玻璃上直接鍍膜做差異化發(fā)展,才是正道。就目前來說,僅從隔熱性能、保溫性能上與玻璃對抗,是不可能有成本上優(yōu)勢的。但都是鍍膜,如何做差異化,我目前也只是拋磚引玉,只有大家一起開動腦袋了。
磁控濺射中靶zhong毒是怎么回事,一般的影響因素是什么?
靶zhong毒的影響因素
影響靶zhong毒的因素主要是反應氣體和濺射氣體的比例,反應氣體過量就會導致靶zhong毒。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場,利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。反應濺射工藝進行過程中靶表面濺射溝道區(qū)域內出現(xiàn)被反應生成物覆蓋或反應生成物被剝離而重新暴露金屬表面此消彼長的過程。如果化合物的生成速率大于化合物被剝離的速率,化合物覆蓋面積增加。在一定功率的情況下,參與化合物生成的反應氣體量增加,化合物生成率增加。如果反應氣體量增加過度,化合物覆蓋面積增加,如果不能及時調整反應氣體流量,化合物覆蓋面積增加的速率得不到抑制,濺射溝道將進一步被化合物覆蓋,當濺射靶被化合物全部覆蓋的時候,靶完全zhong毒。
濺射鍍膜
濺射鍍膜就是在真空中利用荷能粒子轟擊靶表面,使被轟擊出的粒子沉積在基片上的技術。這是因為靶(陰極),等離子體,和被濺零件/真空腔體可形成回路。通常,利用低壓惰性氣體輝光放電來產生入射離子。陰極靶由鍍膜材料制成,基片作為陽極,真空室中通入0.1-10Pa的ya氣或其它惰性氣體,在陰極(靶)1-3KV直流負高壓或13.56MHz的射頻電壓作用下產生輝光放電。電離出的ya離子轟擊靶表面,使得靶原子濺出并沉積在基片上,形成薄膜。濺射方法很多,主要有二級濺射、三級或四級濺射、磁控濺射、對靶濺射、射頻濺射、偏壓濺射、非對稱交流射頻濺射、離子束濺射以及反應濺射等。