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在各式各樣真空機(jī)械設(shè)備中，凡運(yùn)用機(jī)械方法不斷變更泵內(nèi)呼吸容腔的容積而獲得真空的泵常稱機(jī)械真空泵。在機(jī)械真空泵中真空油不僅作獲得真空的化學(xué)物質(zhì)，而且仍在機(jī)械摩擦預(yù)制構(gòu)件起潤滑作用和致冷作用。 機(jī)械真空泵可分為往復(fù)式（或稱活塞式）真空泵、機(jī)械增壓泵和油封機(jī)械真空泵等。往復(fù)式真空泵常用于真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空濃縮和真空干燥等工藝。

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良好的抗腐蝕性與抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發(fā)生化學(xué)變化，腐蝕泵內(nèi)金屬零件。另外，吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，故要求有良好的抗腐蝕性與抗乳化性（水分離性能）。在真空脫水工藝使用的真空泵油的乳化更為突出。

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用于較高真空度的羅茨泵不能直接排大氣，因此串聯(lián)二級的羅茨泵仍需要一個機(jī)械泵或水環(huán)泵后級。羅茨泵串聯(lián)機(jī)組，有兩種配置方式，其一是羅茨泵—羅茨泵—機(jī)械泵；其二是羅茨泵—羅茨泵—水環(huán)泵。兩種方式均是以一羅茨泵為主泵，而另一羅茨泵為前級，兩羅茨泵抽速關(guān)系由經(jīng)驗(yàn)確定