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Leybold復(fù)合分子泵死機分子泵工作原理

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發(fā)布時間:2020-11-16 09:49  






廣州潽拓光電科技有限公司是一家專業(yè)做萊寶分子泵維修、德國萊寶真空泵維修、原裝萊寶真空泵維修、萊寶渦輪分子泵維修的公司,專業(yè)萊寶分子泵保養(yǎng)維修,修理,萊寶復(fù)合分子泵維修,修理,現(xiàn)在針對廣州各地均可收件。

廣州潽拓光--英國愛德華iH1800干式真空泵

概述:愛德華半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率,同時減小占地面積、降低運行成本,實現(xiàn)了高的可靠性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。英國愛德華iH1800干式真空泵維修


技術(shù)參數(shù)如下:


英國愛德華iH1800干式真空泵功能和優(yōu)勢:優(yōu)化了設(shè)施消耗。無需預(yù)防性維護。懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。在節(jié)省功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。德國愛德華EXT255H真空泵產(chǎn)品介紹:當氣體分子從某抽氣通道的外圓側(cè)進入時,它在通道內(nèi)四個壁面間不停的碰撞,當碰在靜止的壁面時,僅通過反射改變運動方向。耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器,而第五級泵消除了使用消音的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。


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廣州潽拓光電——eybold萊寶 TW220/150s是特殊專用分流的渦輪泵,leybold TW220/150S三入口能同時抽取三個腔體的真空,分別抽速可達到250-300 L/S/15L/S,轉(zhuǎn)速為45000rpm,對應(yīng)的控制器為:leybold T400。精細的層次和電路圖案需要通過小心控制的真空沉積和蝕刻過程步驟加工。



leybold萊寶 產(chǎn)品型號:TW220/150S

同參數(shù)產(chǎn)品類型:氣體傳輸泵同

產(chǎn)品材質(zhì):鋁合金同

產(chǎn)品驅(qū)動方式:電磁



廣州潽拓——愛德華 NEXT300D英國愛德華分子泵維修-愛德華d NEXT300T TURBO pump保養(yǎng)-愛德華NEXT300T二手分子泵 愛德華NEXT300D/NEXT300T愛德華渦輪分子泵進氣法蘭口DN100ISO-K DN100CF,出氣法蘭口DN25,抽速可達到300 L/s,轉(zhuǎn)速為60000rpm,對應(yīng)的控制器為:愛德華 TIC200。選擇BPG400單一經(jīng)濟型封裝,在低成本、可重復(fù)的過程中進行基礎(chǔ)壓力測量。


愛德華NXT240D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵,有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口,對N2的抽速為240l/s。nEXT泵采用愛德華成熟的軸承技術(shù),上軸承為磁懸浮軸承,下軸承為油潤滑陶瓷軸承,并改進轉(zhuǎn)子設(shè)計,使其更加有效地實現(xiàn)分子拖曳行程,終提高抽速和壓縮比,同時真正實現(xiàn)了用戶自行維護。技術(shù)指標:阿爾卡特真空泵可分為很多種,比如水環(huán)真空泵、羅茨真空泵、變?nèi)菡婵毡玫鹊?,不同真空泵都有不同的用處,本文介紹水環(huán)真空泵的6大優(yōu)點。它們采用24V到48V直流無傳感器電機,內(nèi)置驅(qū)動,與愛德華的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種預(yù)設(shè)功率可選,前者可使用100W TIC控制器,適用于抽氣,但在該功率下達到滿轉(zhuǎn)速的加速時間較長。


基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。





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