刀具方面，采用金剛石砂輪，控制背吃刀量和進給量，在超精密磨床上，可以進行延性方式磨削，即納米磨削。即使是玻璃的表面也可以獲得光學鏡面。2精密加工和超精密加工的發(fā)展趨勢從長遠發(fā)展的觀點來看，制造技術是當前世界各國發(fā)展國民經(jīng)濟的主攻方向和戰(zhàn)略決策，是一個國家經(jīng)濟發(fā)展的重要手段之一，同時又是一個國家獨立自主、繁榮昌盛、經(jīng)濟上持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展、科技上的長遠大計。科技的發(fā)展對精密加工和超精密加工技術也提出了更高的要求。

20世紀80年代至90年代為民間工業(yè)應用初期。在20世紀80年代，美國政府推動數(shù)家民間公司Moore Special Tool和Pneumo Precision公司開始超精密加工設備的商品化，而日本數(shù)家公司如Toshiba和Hitachi與歐洲的Cmfield大學等也陸續(xù)推出產(chǎn)品，這些設備開始面向一般民間工業(yè)光學組件商品的制造。但此時的超精密加工設備依然而稀少，主要以機的形式訂作。在這一時期，除了加工軟質金屬的金剛石車床外，可加工硬質金屬和硬脆性材料的超精密金剛石磨削也被開發(fā)出來。該技術特點是使用高剛性機構，以切深對脆性材料進行延性研磨，可使硬質金屬和脆性材料獲得納米級表面粗糙度。當然，其加工效率和機構的復雜性無法和金剛石車床相比。20世紀80年代后期，美國通過能源部“激光核聚變項目”和陸、海、空三軍“先進制造技術開發(fā)計劃”對超精密金剛石切削機床的開發(fā)研究，投入了巨額資金和大量人力，實現(xiàn)了大型零件的微英寸超精密加工。

20世紀90年代至今為民間工業(yè)應用成熟期。從1990年起，由于汽車、能源、信息、光電和通信等產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，超精密加工機的需求急劇增加，在工業(yè)界的應用包括非球面光學鏡片、Fresnel鏡片、超精密模具、磁盤驅動器磁頭、磁盤基板加工、半導體晶片切割等。在這一時期，超精密加工設備的相關技術，例如控制器、激光干涉儀、空氣軸承精密主軸、空氣軸承導軌、油承導軌、摩擦驅動進給軸也逐漸成熟，超精密加工設備變?yōu)楣I(yè)界常見的生產(chǎn)機器設備，許多公司，甚至是小公司也紛紛推出量產(chǎn)型設備。此外，設備精度也逐漸接近納米級水平，加工行程變得更大，加工應用也逐漸增廣，除了金剛石車床和超精密研磨外，超精密五軸銑削和飛切技術也被開發(fā)出來，并且可以加工非軸對稱非球面的光學鏡片。