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進(jìn)口真空泵維修
是采用自主研發(fā)的真空泵,它低速轉(zhuǎn)動(dòng)連續(xù)排氣,真空度可達(dá)到10-1Pa,它可稱為是劃時(shí)代的真空泵。實(shí)現(xiàn)了極限真空度的全球泵浦轉(zhuǎn)速.從吸氣起到排氣采用非接觸單段壓縮,其特點(diǎn)是可以地排除空氣或煤氣中所含有的粉塵霧粒,廣泛用于半導(dǎo)體,液晶,太陽能電池,,化工等真空行業(yè)。單級(jí)結(jié)構(gòu)簡單,易于保養(yǎng)和維修,在排除凝聚性氣體,腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。單級(jí)結(jié)構(gòu)簡單,易于保養(yǎng)和維修,在排除凝聚性氣體,腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。
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在連接進(jìn)氣口管路時(shí),管道通徑應(yīng)盡可能與泵的進(jìn)出口通徑*,以保證通導(dǎo);如進(jìn)排氣口管道過小、過長、由于管阻過大則整個(gè)系統(tǒng)會(huì)抽速下降,被抽容器真空度也必然受影響;泵啟動(dòng)前應(yīng)接通冷卻水,進(jìn)出水口用內(nèi)徑Φ10增強(qiáng)尼龍管。應(yīng)保證管道無漏水現(xiàn)象,冷卻水進(jìn)水溫度要求低于35℃;進(jìn)水壓力不低于0.1Mpa;進(jìn)口真空泵維修出口油霧過濾器為標(biāo)準(zhǔn)配置,真空泵油循環(huán)使用,無油煙,清潔、環(huán)保、省油。
若反方向旋轉(zhuǎn)時(shí),可把相電源中任意二相接頭對(duì)換一下 即可。否則,旋片真空泵不起抽氣作用反而會(huì)把真空泵油和大氣打入被抽系統(tǒng),造成嚴(yán)重污染。工作結(jié)束后 . 應(yīng)先關(guān)高真空閥,后關(guān)低真空閥 . 再停旋片真空泵,然后對(duì)其放氣 (如使用電磁真空帶 放氣閥,可以自動(dòng)放氣 ) 以防止油返回到真空系統(tǒng),后切斷總電源 . 停水。需要通冷卻水的機(jī)械真空泵 . 在開機(jī)前應(yīng)先通冷卻水, 然后再啟動(dòng)。 冷卻水的出口水溫不宜超過30度。進(jìn)口真空泵維修真空泵經(jīng)過長期工作后出現(xiàn)故障一般是這幾點(diǎn):真空泵真空度不足,真空泵運(yùn)行溫度過高,真空泵運(yùn)行聲音大,更換真空泵易損件之后對(duì)真空泵進(jìn)行清洗組裝,達(dá)到保養(yǎng)真空泵的目的。