當(dāng)達(dá)到平衡壓力后，用示漏氣體(如Ar)噴吹有漏孔處，如噴吹到漏孔處時(shí)，示漏氣體就會(huì)進(jìn)入系統(tǒng)，使真空泵的放電電流指示迅速上升，這是因?yàn)楸脤?duì)氣抽速較低的緣故。　　當(dāng)用氫或氧來檢漏時(shí)，將會(huì)引起泵電流的下降，因?yàn)檎婵毡脤?duì)這些氣體的抽速比對(duì)空氣的抽速大?！　∵@種方法的靈敏度為10-4～10-9Pa·m3·S-1。真空泵修補(bǔ)過程通常包含拆機(jī)、查看、清潔各零部件，修正加工或替換零部件，拼裝調(diào)試等過程。根據(jù)漏孔的大小，可以調(diào)節(jié)閥門開啟程度實(shí)現(xiàn)其檢漏效能。檢漏時(shí)須注意其靈敏度與壓力成反比，因此應(yīng)盡量在較低的平衡壓力下進(jìn)行檢漏;示漏氣體經(jīng)過凈化處理。

　無油真空泵在使用當(dāng)中應(yīng)該注意哪些地方：　　

1.無油真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。　　

2.無油真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外?！　?

3.真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求?！　?

4.無油真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

真空泵脫胎于壓縮機(jī)與螺桿液體輸送泵，是容積式真空泵中一種較為理想的干式真空泵。初次安裝進(jìn)口真空泵時(shí)，應(yīng)檢查電機(jī)是否正轉(zhuǎn)，也就是電機(jī)與泵內(nèi)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)向一致，一般電機(jī)上方標(biāo)有電機(jī)正常運(yùn)方向。它能提供清潔無油的真空環(huán)境，并且對(duì)腐蝕性氣體、可凝性蒸氣、含粉塵顆粒氣體有較強(qiáng)適應(yīng)性，因此在電子半導(dǎo)體、制藥、石化等一些對(duì)清潔真空環(huán)境要求嚴(yán)格、氣體成分復(fù)雜的行業(yè)領(lǐng)域，螺桿式真空泵備受青睞，逐漸成為傳統(tǒng)油封機(jī)械泵、液環(huán)泵的換代產(chǎn)品?！　?

真空泵通過一對(duì)非對(duì)稱螺桿轉(zhuǎn)子的相向運(yùn)動(dòng)，來周期性改變齒間容積實(shí)現(xiàn)輸送氣體，達(dá)到抽氣的目的。