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發(fā)布時(shí)間:2020-08-12 03:23  






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雙頻激光干涉儀

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀。

在激光器上,加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生f1和f2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。組件尺寸和光潔度缺陷的可能導(dǎo)致壞的工裝,戴主軸或工件的裝夾,但主要缺陷產(chǎn)生的原因通常可以歸因于在機(jī)床本身的定位誤差,幾何,動(dòng)態(tài)和播放機(jī)內(nèi)的錯(cuò)誤的結(jié)果。




測球材料

紅寶石

對(duì)于絕大多數(shù)測量場合來說,具有業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)和特性的測球材料中,紅寶石是已知硬的材料之一。

人造紅寶石是在2000 ℃下用Verneuil工藝方法燒結(jié)成的純度為99%的氧化鋁晶體(剛玉)。

然后將剛玉切割并逐漸加工為球體。紅寶石測球的表面極為光滑,具有極高的抗壓強(qiáng)度和很高的機(jī)械耐磨性能。




球桿儀使用方法

球桿儀是用于數(shù)控機(jī)床兩軸聯(lián)動(dòng)精度快速檢測與機(jī)床故障分析的一種工具。

它由一安裝在可伸縮的纖維桿內(nèi)的位移傳感器構(gòu)成,該傳感器包括兩個(gè)線圈和一個(gè)可移動(dòng)的內(nèi)桿,

其工作原理類同于使用LVDT技術(shù)的位移傳感器。

當(dāng)其長度變化時(shí),內(nèi)桿移入線圈,感應(yīng)系數(shù)發(fā)生變化,檢測電路將電感信號(hào)轉(zhuǎn)變成分辨率為0.1μm位移信號(hào),通過接口傳入PC機(jī)。其精度經(jīng)激光干涉儀檢測達(dá)±0.5μm(在20℃)。


球桿儀是由一根軸向可伸縮的桿和兩個(gè)安裝在磁性球座上的的金屬球(球度誤差小于0.05μm)組成。兩個(gè)球通過內(nèi)裝強(qiáng)力磁鐵的磁性球座分別與工作臺(tái)和主軸端部相聯(lián)。球與磁性球座之間是三點(diǎn)接觸,保證靈活轉(zhuǎn)動(dòng)??缮炜s桿上安裝著可記錄伸長量的位移測量裝置用于測量沿連桿方向的長度變化。重復(fù)進(jìn)行3到4次校正,觀察其校驗(yàn)結(jié)果的重復(fù)數(shù)據(jù),檢查了測頭、測針、標(biāo)準(zhǔn)球是否安裝牢固,同時(shí)也要檢查機(jī)器的工作狀態(tài)。


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