廣州帕納光電科技有限公司----瓦里安分子泵維修；

軸封發(fā)熱填料壓得太緊或磨擦

處理方法：放松填料，檢查水封管；

水封圈與水封管錯(cuò)位

處理方法：重新檢查對(duì)準(zhǔn)；

沖洗、冷卻不良

處理方法：檢查沖洗冷卻循環(huán)管；

機(jī)械密封有故障

處理方法：檢查機(jī)械密封。

正常使用下，為什么分子泵油池會(huì)出現(xiàn)裂紋或者變形

　　原因：過(guò)熱，負(fù)載大

　　解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng)

分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請(qǐng)問(wèn)是否對(duì)分子泵的使用有影響？應(yīng)如何解決？

　　原因：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對(duì)分子泵沒(méi)有影響。

　　解決方式：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對(duì)分子泵沒(méi)有影響。

電壓的不穩(wěn)定，特別對(duì)磁浮類(lèi)的分子泵損傷較大。前級(jí)泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過(guò)前級(jí)泵抽出，真空達(dá)到一定程度分子泵才會(huì)啟動(dòng)。如果前級(jí)泵的效率差，分子泵就會(huì)比較吃力，啟動(dòng)速度慢，抽氣時(shí)間長(zhǎng)，電流高，分子泵溫度升高等。

鎖母鎖緊過(guò)度只會(huì)導(dǎo)致軸間墊過(guò)早失效，相反適度鎖緊鎖母，使軸間墊始終保持一定的壓縮彈性，在運(yùn)轉(zhuǎn)中鎖母會(huì)自動(dòng)適時(shí)鎖緊，使軸間始終處于良好的密封狀態(tài)。

新的比舊的好。相對(duì)而言，使用新機(jī)械密封的效果好于舊的，但新機(jī)械密封的質(zhì)量或材質(zhì)選擇不當(dāng)時(shí)，配合尺寸誤差較大會(huì)影響密封效果；每次停機(jī)后，必須清洗每個(gè)分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞。在聚合性和滲透性介質(zhì)中，靜環(huán)如無(wú)過(guò)度磨損，還是不更換為好。因?yàn)殪o環(huán)在靜環(huán)座中長(zhǎng)時(shí)間處于靜止?fàn)顟B(tài)，使聚合物和雜質(zhì)沉積為一體，起到了較好的密封作用。

電磁場(chǎng)屏蔽掉出現(xiàn)的難題

轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)轉(zhuǎn)子在電磁場(chǎng)中造成渦電流，將使電機(jī)轉(zhuǎn)子發(fā)燙，將造成以下難題：

①、電機(jī)轉(zhuǎn)子與電機(jī)定子空隙愈來(lái)愈小，導(dǎo)致殘片；

②、電機(jī)轉(zhuǎn)子升溫過(guò)大導(dǎo)致帶磁轉(zhuǎn)子去磁；

③、因?yàn)榘l(fā)燙會(huì)變?nèi)蹁X原材料的抗壓強(qiáng)度，導(dǎo)致碎泵；

④、電機(jī)轉(zhuǎn)子發(fā)燙，更改電機(jī)轉(zhuǎn)子和軸的相對(duì)位置，導(dǎo)致碎泵。

分子泵在電磁場(chǎng)中運(yùn)行時(shí)，軸向和徑向磁感應(yīng)強(qiáng)度均不可超過(guò)30Gs。正常情況下，超過(guò)30Gs應(yīng)應(yīng)用吸磁原材料屏蔽掉。瓦里安分子泵維修

分子泵起動(dòng)的標(biāo)準(zhǔn)：

①、起動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)：聯(lián)接準(zhǔn)確無(wú)誤、無(wú)漏、制冷、潤(rùn)化、真空值

②、開(kāi)機(jī)時(shí)間：

另外起動(dòng)——小系統(tǒng)軟件，防前面油閥上返。

延遲時(shí)間起動(dòng)——系統(tǒng)軟件容量過(guò)大,先起動(dòng)前面泵，至系統(tǒng)軟件氣體壓強(qiáng)P=200Pa時(shí)，起動(dòng)分子泵。瓦里安分子泵維修