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電子束結(jié)構(gòu)介紹
粒子增速器的結(jié)構(gòu)可以與顯像管類(lèi)比。顯像管中的電子槍對(duì)應(yīng)于增速器的電子槍或離子源,顯像管中加速電子用的高壓電極對(duì)應(yīng)于增速器中的高壓加速電極及加速腔。顯像管中控制電子運(yùn)動(dòng)的電偏轉(zhuǎn)板與聚焦電子的聚焦線(xiàn)圈,對(duì)應(yīng)于增速器中控制粒子運(yùn)動(dòng)軌道和聚焦粒子束流的多種電磁部件,如導(dǎo)向磁鐵、聚焦磁鐵、多極校正磁鐵等。對(duì)粒子增速器的粒子運(yùn)行管道來(lái)說(shuō),為了減少粒子在運(yùn)動(dòng)中與殘余氣體碰撞而造成粒子的丟失和束流性能變壞,所要求的真空度比顯像管要高數(shù)千到數(shù)萬(wàn)倍。2、分子篩吸附裝置,避免機(jī)械泵返油造成膜層污染,提高薄膜純凈度。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,根據(jù)科學(xué)家對(duì)粒子能量和流強(qiáng)的不同要求,陸續(xù)產(chǎn)生了不同原理、不同結(jié)構(gòu)的多種增速器。
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電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的技術(shù)特點(diǎn)
沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)、銷(xiāo)售電子束產(chǎn)品,以下信息由沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供。
1、樣品臺(tái):水冷樣品座,樣品座高度可調(diào),便于調(diào)整蒸距。調(diào)節(jié)范圍:樣品臺(tái)與基片的可調(diào)節(jié)范圍300mm.
2、電子槍?zhuān)弘娮訕尮β?kW可調(diào)(滿(mǎn)足金屬、絕緣材料高速蒸發(fā))4穴水冷坩堝(適用于對(duì)多種材料進(jìn)行蒸發(fā)鍍制多層膜且膜層較薄工藝中應(yīng)用效果好)。為保持E型電子槍蒸發(fā)絕緣穩(wěn)定性,配制高品質(zhì)束流掃描控制器,具有多種供控制程序進(jìn)行選擇的預(yù)設(shè)模式,方便于操作、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)積累。以下內(nèi)容由沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供,今天我們來(lái)分享電子束產(chǎn)品的相關(guān)內(nèi)容,希望對(duì)同行業(yè)的朋友有所幫助。配套相應(yīng)蒸發(fā)坩堝內(nèi)襯,以適應(yīng)不同材料,確保蒸發(fā)速率穩(wěn)定性,重復(fù)性.
電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)各部件介紹
1、烘烤照明系統(tǒng)1套。烘烤溫度:室溫-150℃。(在10-4Pa時(shí),真空室內(nèi)殘余氣體的組合,水蒸汽約占 90%以上,因此在該壓強(qiáng)下進(jìn)行蒸鍍,實(shí)際上相當(dāng)于在水蒸汽中制膜,為了減少水份,提高真空室溫,使水分解,是提高膜層質(zhì)量的一種可行辦法)。
2、電控柜:標(biāo)準(zhǔn)電控柜,組裝總控制電源、真空系統(tǒng)控制(分子泵、機(jī)械泵電源、擋板等)、數(shù)顯真空計(jì)等。柜底下配腳輪,方便移動(dòng)、定位。
3、手動(dòng)按鈕式操作,備留機(jī)電轉(zhuǎn)換及控制接口,方便實(shí)驗(yàn)記錄.
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