如何控制無塵潔凈室的溫度濕度？

濕度過高發(fā)生的問題更多，相對濕度超越55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，假如發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。4、潔凈廠房門窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構(gòu)造和施工縫隙，均應(yīng)采取可靠的密封措施。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將經(jīng)過空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學(xué)吸附在外表耐難以鏟除由于加工精度越來越精密，所以對溫度波動規(guī)模的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路出產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱脹大系數(shù)的差要求越來越小。

 潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到 人的舒適度感。分設(shè)空調(diào)凈化系統(tǒng)潔凈室的空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)不同的潔凈度等級分設(shè)。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等，凈化車間設(shè)計時，要根據(jù)實(shí)際情況選擇。凈化工程的一般施工程序：首1次粉塵作業(yè)，無塵作業(yè)后，不允許交叉作業(yè)。 否則會影響項目的質(zhì)量。 也就是說，在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后，可以進(jìn)行無塵操作。

 排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等，凈化車間設(shè)計時，要根據(jù)實(shí)際情況選擇。對β-內(nèi)酰胺類、避孕藥品、類、強(qiáng)毒微生物及抗腫1瘤藥品、放1射品等的工作室，應(yīng)設(shè)置空調(diào)凈化系統(tǒng)，其排風(fēng)口應(yīng)安裝過濾設(shè)備，以將這些的污染降至*低限度。要說凈化工程在發(fā)展的前景方面，形勢還是非常好的，市場需求更是一片大好。因?yàn)槲覀儑业闹扑帯㈦娮有畔⒌刃袠I(yè)都在迅速發(fā)展，所以對凈化工程行業(yè)的發(fā)展起到了帶動的作用。在這里需要提醒大家的是自從我們國家的醫(yī)療方面的改革條文GMP-2010發(fā)布之后，既推動了生物醫(yī)藥和食品化工行業(yè)的發(fā)展，也間接的推動了凈化工程行業(yè)的發(fā)展。而且相關(guān)方面的政策支持也讓凈化工程行業(yè)的發(fā)展機(jī)遇推到了極1致。壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。