四種常見的真空鍍膜材料

1.氧化物:一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化鈦TiO2,二氧化鋯ZrO2,二氧化鉿HfO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5，五氧化二鈮Nb2O5，五氧化二鉭Ta2O5,氧化釔Y2O3，氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。

2.氟化物：氟化釹NbF3,BaF2，氟化CeF3，氟化鎂MgF2，LaF3，氟化釔YF3，氟化鐿YbF3，氟化鉺ErF3等高純氟化物。

3.其它化合物：硫化鋅ZnS，硒化鋅ZnSe，氮化鈦TiN，碳化硅SiC，鈦酸鑭LaTiO3，鈦酸鋇BaTiO3，鈦酸鍶SrTiO3，鈦酸鐠PrTiO3，CdS等真空鍍膜材料。

4.金屬鍍膜材料：高純鋁Al，高純銅Cu，高純鈦Ti，高純硅Si，高純金Au，高純銀Ag，高純銦In，高純鎂Mg，高純鋅Zn，高純鉑Pt，高純鍺Ge，高純鎳Ni,高純金Au，金鍺合金AuGe，金鎳合金AuNi，鎳鉻合金NiCr，鈦鋁合金TiAl，銅銦合金CuInGa，銅銦硒合金CuInGaSe，鋅鋁合金ZnAl，鋁硅合金AlSi等金屬鍍膜材料。Parylene是這些組裝方式的防護材料，5微米厚就能耐1000V以上直流擊穿電壓，因此在微機電系統(tǒng)中，Parylene是一的電介質材料。

真空鍍膜加工清除鍍膜室內的灰塵，設置清潔度高的工 作間，保持室內高度清潔是鍍膜工藝對環(huán)境的基本要求。空氣濕度大的地區(qū)，除鍍前要對基片、真空室內各部 件認真清洗外，還要進行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內，注意油擴散泵返油，對加熱功率高的擴散泵必須 采取擋油措施。另一種方法是用環(huán)氧樹脂材料進行電泳涂敷，但電泳涂敷時工件表面必須有一掛點，掛點的修補不僅費工費時，而且質量難以保證，而Parylene涂層技術可控制涂層厚度進行無支點全涂敷防護。

真空鍍膜加工表面的清潔處理非常重要，直接影響到電鍍的產(chǎn)品品質。加工件進入鍍膜室前一定要做到認真的鍍前清潔處理，表面污染來自工件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、 機油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物，

膜層結合力強，在真空電鍍加工過程中，有部分電子撞擊到基材表面，表面原子，并且產(chǎn)生清潔的作用，而鍍材通過濺射所獲得的能量比蒸發(fā)所獲得的能量高出1到2個數(shù)量級，帶有如此高能量的鍍材原子撞擊到基材表面時，有更多的能量可以傳遞到基材上，產(chǎn)生更多的熱能，使被電子的原子加速運動，與部分鍍材原子更早互相溶合到一起，其他鍍材原子緊隨著陸續(xù)沉積成膜，加強了膜層與基材的結合力。歐盟第七研發(fā)框架計劃（FP7）提供980萬歐元資助，總研發(fā)投入1340萬歐元，由歐盟8個成員國德國（總協(xié)調）、英國、意大利、比利時、荷蘭、葡萄牙、希臘和斯洛文尼亞，微納米電子工業(yè)界聯(lián)合科技界組成的歐盟微納米電子技術平臺（ORAMAETP）。

Parylene涂層不僅有優(yōu)異的介電性能、低的介質損耗和高的介電強度，同時具有優(yōu)良的機械性能和耐輻射性能。Parylene如此高的介電強度主要歸功于Parylene能形成連續(xù)無缺陷和無其它填充物的薄膜。Parylene具有優(yōu)異的尺寸穩(wěn)定性和低溫性能，在幾乎不改變器件尺寸的情況下提供1.5KV,2.0KV 甚至更高的耐電壓擊穿性能。因此，Parylene可用作微機電，微馬達的表面處理和絕緣體。使用高純度的Parylene作鈍化層和介質層，能提供安全、穩(wěn)定的防護。而BOPP、PE等非極性塑料薄膜，在蒸鍍前需對薄膜表面進行電暈處理或涂布黏合層轉移法。