氦質譜檢漏儀的校準方法

氦質譜檢漏儀廣泛應用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術性能指標，通過實驗，總結通過氦質譜檢漏儀對其漏率校準的方法。

氦質譜檢漏儀原理:

氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不

氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。

氦質譜檢漏儀的內部一般有標準漏孔，可將標準漏孔拆卸進行校準，如果不能單獨校準標準漏孔，就可考慮直接通過氦質譜檢漏儀進行漏率部分的校準，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準方法。

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真空法氦質譜檢漏

采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產(chǎn)品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。氦質譜檢漏法與泡檢漏法、壓強衰減法和鹵素檢漏法相比，除檢漏原理不同以外，還具有監(jiān)測靈敏度高，速度快、適用范圍廣，探索氣體無毒性、無破壞性、質量輕等優(yōu)點，是諸多檢漏法中有效的方法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，可以實現(xiàn)漏孔的準確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。

氦質譜檢漏儀

吸槍法

吸槍法是先向壓力容器裝置中充入一個以上的大氣壓的氦氣或氦氣與其他氣體的混合氣，從壓力容器裝置的外部檢測從漏孔泄漏到外部的氦氣，進而發(fā)現(xiàn)漏孔。

吸槍法（正壓法）檢漏，用純氦檢時，可使用氦氣回收裝置，重復使用，以降低使用成本。鹵素檢漏儀檢漏是過去常用的方法，由于靈敏度低，難免發(fā)生泄漏和誤檢，使總裝后的產(chǎn)品氣密性達不到要求，導致返工，不但浪費了人力物力，也耽擱了生產(chǎn)周期?；蚴褂脻舛炔坏陀?~10%的氦氣混合氣體，使用完后，可直接向大氣中排放，要注意周圍環(huán)境中的氦氣的濃度，注意周圍環(huán)境中空氣的流動情況，因為這會影響到吸槍法的檢測精度。吸槍法（正壓法）檢漏與鹵素檢漏極為相似，但應注意的是容器內所充的示蹤氣體是不同的，即使有相同的漏率值，其意義也是不同的，能夠區(qū)分這一點很重要。除實驗測試比較法以外另有計算式Q1η1= Q2η2（Q為氣體的泄漏流量，η為氣體的粘度系數(shù)），Q1M11/2= Q2M21/2（M為氣體的分子量）。吸槍法檢漏中應注意以下幾個問題：

1、靈敏度受連接管道的流導的限制。

2、初次檢漏時、被檢件體內切勿充入過高壓力的氦氣。除實驗測試比較法以外另有計算式Q1η1=Q2η2（Q為氣體的泄漏流量，η為氣體的粘度系數(shù)），Q1M11/2=Q2M21/2（M為氣體的分子量）。因為如果有漏孔，氦氣會從被檢件物中漏出，造成較大浪費，而且氦氣到處擴散，給檢漏儀帶來非常大的干擾。因此，一般應先向被檢件物內充以低壓力、低濃度的氦氣，再充入高壓力，高濃度的氦氣，對小漏孔進行檢漏。如果存在較大漏孔時，可對檢件體先進行加壓水中發(fā)泡法檢大漏，這樣既可以減少氦氣的浪費，因為氦氣較貴（不同濃度的價格也不同），又可避免對氦檢漏儀的氦的損害。