氦氣檢漏的原理

大家都知道氣分子內(nèi)部結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，化學(xué)性質(zhì)并不活潑并且密度較小，由于這些特性氦氣不會(huì)，也不容易和其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。因?yàn)檫@些性質(zhì)，所以氦氣經(jīng)常被用來(lái)檢漏。

其實(shí)任何可以感測(cè)氣體分壓之質(zhì)譜儀，均可以作為真空系統(tǒng)漏氣之偵測(cè),通常為分子量較輕的氣體，氦氣滲透漏孔， 的質(zhì)譜測(cè)漏儀，多將質(zhì)普分析器固定在特定質(zhì)量，通常為氦氣的質(zhì)量，以氦氣為漏氣體在欲偵測(cè)處到處噴氦氣，觀察質(zhì)普是否改變，來(lái)辦別是否有漏氣，這是氦氣檢漏的原理。保證試漏方向與使用中所受壓力方向相同許多密封件有一個(gè)的安裝方向，且僅在這個(gè)方向才能起到密封作用。

氦質(zhì)譜檢漏方法

氦質(zhì)譜檢漏方法是基于氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測(cè)量原理。 當(dāng)樣品的密封面發(fā)生泄漏時(shí)，氦和其他元件的泄漏氣體會(huì)從泄漏孔中泄漏出來(lái)。 當(dāng)泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器后，由于氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器具有選擇性識(shí)別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號(hào)。 在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。背壓法的檢漏標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3212-2005《氦質(zhì)譜背壓檢漏方法》、GJB360A-1996《電子及電氣元件試驗(yàn)方法方法112密封試驗(yàn)》，主要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。

真空系統(tǒng)和壓力系統(tǒng)泄漏測(cè)試

真空系統(tǒng)和壓力系統(tǒng)應(yīng)在與其運(yùn)行條件相同的條件下進(jìn)行泄漏測(cè)試。真空系統(tǒng)用便攜式檢漏儀。檢漏儀連接到真空泵的管路上。使用噴霧探針向潛在泄漏部位施加氦氣。如果存在泄漏，氦會(huì)進(jìn)入系統(tǒng)并迅速擴(kuò)散。檢漏儀應(yīng)在幾秒鐘內(nèi)做出反應(yīng)。壓力系統(tǒng)可以充入氦氣或氦氣和氮?dú)獾幕旌衔铩Ｐ孤y(cè)試是通過(guò)使用嗅探器探針進(jìn)行的。此外，每個(gè)測(cè)量漏率都對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效標(biāo)準(zhǔn)漏率，在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢，排除大漏的可能。