真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點

真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)

1．配置與氣路控制

真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。

工件抽空系統(tǒng)：低真空泵及閥門，低真空測量充氮與回收系統(tǒng)：氦氣儲存罐(高壓罐)，氦氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機，輔壓縮機，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統(tǒng)：為自動控制型，由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器)，充氦回收系統(tǒng)，真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計，同時，實施對整個系統(tǒng)的工作控制，對檢漏過程和結(jié)果顯示。

2.系統(tǒng)檢測過程

1)、通過v1、V4，泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空，如果限定的時間內(nèi)抽到限定的真空度，此時，電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉V1，打開V2

2)、充氦系統(tǒng)通過V2對工件進行充氦至核定的壓力，穩(wěn)定，關(guān)閉V2

3)、關(guān)閉V4，打開V3、V5，處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏，如果不漏，電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷V3、V5，打開V2對氦氣進行回收。

4)、關(guān)閉V2打開V6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設(shè)定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報警，將：工作內(nèi)的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。

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氦質(zhì)譜檢漏原理

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測儀器，用于檢漏的一種檢測技術(shù)，它的檢漏靈敏度可達10-14～10-15Pa?m3/s，可以準確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學控制元件三大部分組成。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機械泵之間，利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室。氦檢漏儀產(chǎn)品介紹以下內(nèi)容由科創(chuàng)真空為您提供服務(wù)，希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場的作用下進入磁場，在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn),由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學特性，偏轉(zhuǎn)半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時間到達收集板的氦離子對應(yīng)于一個電流信號，這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數(shù)量，電流信號經(jīng)過放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點的漏率，通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因為氦氣具有以下優(yōu)良特性：

①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環(huán)境中的含量超過標準，可以比較容易地探測到極微量的氦氣；

②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除；

③氦離子荷質(zhì)比小，易于進行質(zhì)譜分析；

④氦氣是惰性氣體，化學性質(zhì)穩(wěn)定，不會腐蝕和損傷任何設(shè)備；

⑤氦氣無毒，不凝結(jié)，極難容于水。

今天科創(chuàng)真空小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏的工作原理，希望對您有所幫助！

真空箱式氦檢漏設(shè)備

適用對各類被檢要求氣密性漏率的產(chǎn)品（以下簡稱工件）進行真空法檢漏。同步對工件和真空箱抽真空，使工件內(nèi)外壓差不大0.04Mpa，對被檢工件充注氦氣，應(yīng)用真空箱法進行氦質(zhì)譜氣密性檢測，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用，向工件內(nèi)充入規(guī)定壓力的SF6工作氣體。系統(tǒng)嚴格按照客戶的要求設(shè)計制造，采用模塊化的設(shè)計，充分考慮客戶的檢漏要求，同時也盡可能采用標準化的模塊和部件，保證了系統(tǒng)的可靠性和可維護性。機械系統(tǒng)主要由以下四個單元構(gòu)成：真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。設(shè)備適應(yīng)用電力行業(yè),家用空調(diào)，制冷行業(yè)，汽車行業(yè)，新能源行業(yè)的氣密性檢測、應(yīng)具有氣體充注。大漏判定功能，微漏定量檢漏功能，工件泄漏總的判定功能，并能滿足連續(xù)生產(chǎn)的需求，具有較高的自動化程度，操作簡便、安全、可靠。

在電力行業(yè)高壓環(huán)網(wǎng)柜生產(chǎn)中的應(yīng)用

真空箱式氦檢漏設(shè)備適用對充氣環(huán)網(wǎng)柜（以下簡稱工件）進行真空法檢漏。同步對工件和真空箱抽真空，使工件內(nèi)外壓差不大0.04Mpa，對被檢工件充注氦氣，應(yīng)用真空箱法進行氦質(zhì)譜氣密性檢測，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。

一、內(nèi)腔表面光潔度（現(xiàn)設(shè)備腔體都是用的熱板）固光潔度鏡面處理達到“▽7”

做為設(shè)備驗收標準。

二、腔體外部面板烤漆處理確保色澤均勻、亮度提升，加強筋及焊口、焊接時殘留焊瘤、焊渣、上漆時進行多面拋光研磨處理。

三、設(shè)備腔體部分選用SS304板10mm厚，腔體法蘭選用SS304板成活30mm.加強筋選用30mm*120mm.門面板成活15mm.確保腔體部分厚實、美觀。以此數(shù)據(jù)作為驗收標準。

四、設(shè)備外圍護網(wǎng)選用40mm*40mm*5mm方管。網(wǎng)格選用φ8mm*8mm確保護欄厚實美觀。（漆色執(zhí)行用戶技術(shù)要求外觀顏色）

七、控制柜操作臺材料選用2.5mm板材。噴塑涂層外觀噴涂后距離300mm.自然光或40W日光燈下視線與涂層45°角觀察表面平整、光亮、流平性好。桔紋手感不明顯。不得有流痕，麻坑、縮孔、顏料se斑等缺陷，厚度50-80μm。3、被檢件檢測前需要進行充分的清潔，同時要在充好氣后再放入液體中，防止堵塞漏孔。操作臺抽屜進出順滑、平穩(wěn)。依據(jù)以上作為驗收標準。

八、工件小車托盤（見設(shè)備圖紙作為驗收依據(jù)）

期望大家在選購氦檢漏設(shè)備時多一份細心，少一份浮躁，不要錯過細節(jié)疑問。想要了解更多氦檢漏設(shè)備的相關(guān)資訊，歡迎撥打圖片上的熱線電話?。?！