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蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)的原理及性能,你了解多少?
蒸發(fā)物質(zhì)如金屬、化合物等置于坩堝內(nèi)或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源,待鍍工件,如金屬、陶瓷、塑料等片置于坩堝前方。通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱為蒸發(fā)鍍膜。電氣設(shè)備包括測量真空和膜層厚度及控制臺(tái)等。因此,排氣系統(tǒng)既要求在較短的時(shí)間內(nèi)獲得低氣壓以保證快速的工作循環(huán),也要求確保在蒸氣鍍膜時(shí)迅速排除從蒸發(fā)源和工作物表面所產(chǎn)生的氣體。為了提高抽氣速率,可在機(jī)械泵和擴(kuò)散泵之間加機(jī)械增壓泵。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。蒸發(fā)式真空鍍膜機(jī)常用蒸發(fā)源是用來加熱膜材使之汽化蒸發(fā)的裝置。真空室是放置鍍件、進(jìn)行鍍膜的場所,直徑一般為400~700mm,高400~800mm,用不銹鋼制作,有水冷卻裝置。待系統(tǒng)抽至高真空后,加熱坩堝使其中的物質(zhì)蒸發(fā)。蒸發(fā)系統(tǒng)包括蒸發(fā)源和加熱蒸發(fā)源的電氣設(shè)備。
鍍膜設(shè)備類型:
—空氣:(1)進(jìn)口和出口區(qū)配備動(dòng)態(tài)鎖定輥系統(tǒng),確保帶材不間斷運(yùn)動(dòng)(2)帶材緩沖器、連接和分離裝置以及放置于鍍膜機(jī)前、后端大氣中的放卷機(jī)和收卷機(jī),以保證連續(xù)生產(chǎn)(3)生產(chǎn)周期僅受限于靶材/真空腔體內(nèi)蒸發(fā)物儲(chǔ)存量
—分批式:(1)真空工藝區(qū)入口和出口處連接的卷軸裝載鎖定腔體,使用帶材閥隔開(2)可在不中斷工藝真空的前提下裝載和卸載卷軸(3)生產(chǎn)周期為1卷軸的時(shí)間,然后停止,進(jìn)行卷軸更換;帶材廢料長度約為工藝部分的兩倍(4)電子束工藝配備額外的檔板,用以補(bǔ)償卷軸更換
鍍膜模式:單面鍍膜:(1)所有鍍膜工具均位于帶材的一側(cè)(2)使用電子束(EB)工藝時(shí),(一般情況下)帶材的底側(cè)將被鍍膜雙面鍍膜:(1)鍍膜工具均位于帶材的一側(cè),卷材改變走帶方向(2)需要二次鍍膜與傳動(dòng)裝置配備
非接觸式鍍膜選項(xiàng)針對敏感的光學(xué)鍍膜,提供非接觸式機(jī)器概念。
切削工具真空鍍膜機(jī)
切削工具真空鍍膜機(jī)可以提高工具的切削速度和給刀量,降低加工的時(shí)間和成本,更長的使用壽命降低了工具更換的成本,涂層具備的熱穩(wěn)定性、熱硬度和能力、低摩擦系數(shù)和低粘附傾向。真空鍍室的真空密封和室內(nèi)運(yùn)動(dòng)部件的設(shè)計(jì)和用材,充分考慮可承受高溫,配置多只園形電弧蒸發(fā)源,或配多個(gè)矩形平面電弧蒸發(fā)源,也可配多只空心陰極槍,同時(shí)配置耐沖擊的、具有優(yōu)異滅閃弧性能的偏壓電源,保證足夠等離子體密度和反應(yīng)活性,提高膜層致密性和結(jié)合力。工件可三維運(yùn)動(dòng),提高膜層均勻性。全自動(dòng)控制提高工藝穩(wěn)定性。
PVD鍍膜技術(shù)目前主要應(yīng)用的行業(yè)
PVD鍍膜技術(shù)目前主要應(yīng)用的行業(yè),PVD鍍膜技術(shù)的應(yīng)用主要分為兩大類:裝飾鍍膜和工具鍍膜。裝飾鍍的目的主要是為了改善工件的外觀裝飾性能和色澤同時(shí)使工件更耐磨耐腐蝕延長其使用壽命;這方面主要應(yīng)用五金行業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域,如門窗五金、鎖具、衛(wèi)浴五金等行業(yè)。工具鍍的目的主要是為了提高工件的表面硬度和耐磨性,降低表面的摩擦系數(shù),提高工件的使用壽命;這方面主要應(yīng)用在各種刀剪、車削刀具(如車刀、刨刀、銑刀、鉆頭等等)、各種五金工具(如螺絲刀、鉗子等)、各種模具等產(chǎn)品中。