特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

GMS和GDS系統(tǒng)

氣體監(jiān)控系統(tǒng)（GMS)通過計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸送系統(tǒng)的實(shí)時(shí)監(jiān)控，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

氣體偵測(cè)系統(tǒng)（GDS）是全廠生命安全系統(tǒng)（LSS）的重要組成部分。對(duì)于偵測(cè)器的要求，除了精度高，反應(yīng)迅速外，還應(yīng)具備自檢功能。對(duì)于這兩個(gè)系統(tǒng)在這里只能做一個(gè)概念性的介紹。

后、充分了解氣體特性、從而合理配置系統(tǒng)，合理選擇管徑和材料，是我們?cè)O(shè)計(jì)的重點(diǎn)，這樣可顯著降低整個(gè)系統(tǒng)的成本。

特種氣體的殺菌

安全與環(huán)保

　　1.制定完善的經(jīng)驗(yàn)證可行的滅菌工藝方案以及環(huán)氧乙1烷存放、收發(fā)制度，專人持證上崗，嚴(yán)格按照操作規(guī)程運(yùn)行

　　2. 環(huán)氧乙1烷儲(chǔ)存應(yīng)與滅菌生產(chǎn)隔離開來，應(yīng)設(shè)有防爆墻，儲(chǔ)存室陰涼、通風(fēng)、防曬，有易1燃、易1爆、有毒標(biāo)志，并配備消防器材。

　　3.滅菌車間周圍30-50米內(nèi)不得有明火作業(yè)、變電設(shè)備及其他可發(fā)生火花的設(shè)備或操作

特種氣體:高純氯1氣

高純氯1氣應(yīng)用

高純氯1氣主要用于液晶平板顯示器、光纖和半導(dǎo)體行業(yè)，被用作蝕刻氣體和脫水劑，而其中光纖行業(yè)用量較大。光纖1主要參數(shù)是損耗，無論是石英光纖還是浮化玻璃光纖中的損耗，主要是由OH-陰離子、過渡金屬離子和稀土金屬離子引起的。因?yàn)楣馍⑸洹⒐馕罩饕怯蒓H-產(chǎn)生的，所以必須脫除光纖中的OH-離子。為了降低損耗，處需要光纖制造系統(tǒng)精良和所有原材料純度高外，其關(guān)鍵是在制造光纖工藝中通入高純氯1氣，有效除去OH-離子。因此，高純氯1氣是生產(chǎn)光纖不可或缺的原材料。制定完善的經(jīng)驗(yàn)證可行的滅菌工藝方案以及環(huán)氧乙1烷存放、收發(fā)制度，專人持證上崗，嚴(yán)格按照操作規(guī)程運(yùn)行2。

特種氣體的介紹

主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測(cè)。氣體合成是將原料在特定壓力、溫度、催化劑等條件下，通過化學(xué)反應(yīng)得到氣體粗產(chǎn)品。氣體純化是通過精餾、吸附等方式將粗產(chǎn)品精制成更高純度的產(chǎn)品。

應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。