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特種氣體管道
氣體滲透性:
氣體從壓力(或分壓力)高的一側(cè)透過材料向壓力(或分壓力)低的一側(cè)流入的現(xiàn)象成為氣體滲透。 因為空氣中氧氣和氮氣分壓力1大、氣體分子相對較小,管道材料對氣體的滲透性主要表現(xiàn)氧氣和氮氣的滲透 , 一般對氧氣的滲透測試比較多。
特氣管道試壓
1、管道試壓前應全1面檢查、核對已安裝的管子、管件、閥門、緊固件以及支架等,質(zhì)量應符合設計要求及技術規(guī)范的規(guī)定。
2、管道試壓應編制試驗方案,根據(jù)工作壓力分系統(tǒng)進行試壓。一般對于同向大氣的無壓管線,如放空管、排液管等可不進行試壓。
CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無法去除,本公司經(jīng)過多年潛心研究和多項實驗,研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無法除去的技術難題,使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段,較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器,可實現(xiàn)自動切換,自動氮氣吹掃,自動真空輔助放空。
特種氣體間 speciality gas room是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設備,并通過管道向用氣設備輸送特種氣體的房間。特種氣體是光電子、微電子等領域,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子。特種氣體管道的施工施工管理和現(xiàn)場施工的幾個注意點焊工每天在焊接前必須先作焊接試樣,經(jīng)檢查合格后方可進行焊接施工,每天的施工結(jié)束后還必須做一個末試樣,以確認今天的焊接作業(yè)是否存在焊接隱患。
在半導體制造業(yè)中,可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體,大宗氣體是指集中供應且用量較大的氣體,如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導體制造中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相沉積,擴散等過程中使用的各種化學氣體,如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等,又可稱為電子特種氣體。電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領域應用的氣體。氦氣分子最1小,使其穿透能力最強、密度最1小,被用做管道檢漏,可解決單純依靠聲波檢測技術無法解決的問題,對深埋管道或擁有保溫層防腐層的熱力、輸油、輸氣管道,特別是低壓運行的管道,有明顯的檢測效果。