凈化車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

無塵室對(duì)環(huán)境的濕度、溫度、新鮮空氣量、狀態(tài)、照度等都有嚴(yán)格的規(guī)定，保證了產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量和人員工作環(huán)境的舒適。空氣過濾器在使用中，其阻力達(dá)到初阻力的2倍時(shí)，則可更換，但為了減少系統(tǒng)運(yùn)行中的電耗，如果經(jīng)濟(jì)上又合理時(shí)，則可以在空氣過濾器的阻力達(dá)到初阻力的1。整個(gè)無塵室系統(tǒng)配有一套采用初效、中效、有效過濾器的三級(jí)過濾器的空氣凈化系統(tǒng)，控制潔凈區(qū)內(nèi)塵粒數(shù)以及沉降菌和浮游菌數(shù)等，作為末端過濾裝置有效過濾器決定著整個(gè)凈化系統(tǒng)的運(yùn)行效果，因此對(duì)于有效過濾器的更換時(shí)間把握就非常的重要。

1、耐火等級(jí)和防火分區(qū)

從許多潔凈室火災(zāi)實(shí)例中我們不難發(fā)現(xiàn)，嚴(yán)格控制建筑物的耐火等級(jí)十分必要，設(shè)計(jì)時(shí)將廠房的耐火等級(jí)定為一、二級(jí)，使其建筑構(gòu)件的耐火性能與甲、乙類生產(chǎn)廠房相適應(yīng)，從而大大減少了火災(zāi)發(fā)生的可能性。

限制防火墻間的面積，設(shè)置防火分區(qū)，一是可以控制火災(zāi)蔓延，減少火災(zāi)損失；二是便于火場(chǎng)撲救，使消防人員既容易在現(xiàn)場(chǎng)尋找火源，也容易安全撤離。

潔凈實(shí)驗(yàn)室的規(guī)劃設(shè)計(jì)裝飾應(yīng)留意哪些要點(diǎn)？

① 醫(yī)院潔凈手術(shù)室數(shù)量一般按照住院總床位數(shù)的2％，或者外可病房總床位數(shù)的4％來確定。

② 普通的縣醫(yī)院潔凈室以潔凈度（萬級(jí)）為宜，不需盲目增設(shè)高等級(jí)手術(shù)室，以防形成浪費(fèi)。

③ 首要必備用房按照潔凈區(qū)、潔凈區(qū)、污染區(qū)來區(qū)分。

④ 潔凈手術(shù)室不宜在首層和搞修建的頂層。如果建立在頂層，需多面考慮無眠的保溫隔熱及雨水浸透問題。

⑤ 做好防火分區(qū)。

⑥ 潔凈手術(shù)室不能增設(shè)外窗，應(yīng)選用人工照明