2017年，我國(guó)工業(yè)新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換成效初顯，工業(yè)生產(chǎn)超預(yù)期回升、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級(jí)、企業(yè)效益明顯改善。2018年，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速東移，中國(guó)電子特種氣體產(chǎn)業(yè)迎來(lái)歷史機(jī)遇期。氣體工業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)工業(yè)之一，覆蓋社會(huì)生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域，受益于國(guó)民生活，牽動(dòng)著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展。特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對(duì)氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。由于各單位都有不同的使用環(huán)境和方式，這些都會(huì)造成同一儀器使用的標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度略有差異，紐瑞德提醒您：一定要核實(shí)好自己儀器使用的組分和濃度哦，以免造成不必要的損失哦。特種氣體是泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造的關(guān)鍵電子材料，直接關(guān)系到我國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展和國(guó)家戰(zhàn)略安全。根據(jù)氣體圈子2017年統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，政府各部門(mén)多次出臺(tái)特種氣體鼓勵(lì)政策。2017年5月2日，科技部印發(fā)《“十三五”先進(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域科技專項(xiàng)規(guī)劃》中關(guān)鍵材料部分提到面向45-28-14納米集成電路工藝，重點(diǎn)研發(fā)包括超高純電子氣體和其他關(guān)鍵材料產(chǎn)品。6月16日，特種氣體入選國(guó)家《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2017年版）》。9月12日，保監(jiān)會(huì)決定建立新材料首批次應(yīng)用保險(xiǎn)補(bǔ)償機(jī)制并開(kāi)展試點(diǎn)工作。將《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用指導(dǎo)目錄》生產(chǎn)首批次新材料的企業(yè)作為保險(xiǎn)補(bǔ)償政策的支持對(duì)象。原則上政府補(bǔ)貼的責(zé)任限額不超過(guò)合同金額的5倍、且不超過(guò)5億元，投保費(fèi)率不超過(guò)3%。

高純氫氣（PH2）氫氣（H2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管，閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。此外，還有一種性質(zhì)極為不穩(wěn)定的氣體，加壓后需溶于溶劑中儲(chǔ)存在鋼瓶?jī)?nèi)，這種氣體稱為溶解氣體。氬氣（Ar）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管，閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。氦氣（He）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L不銹鋼管）閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

電子氣體的特點(diǎn)

電子氣體(Elect ron ic gases) ：半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門(mén)類可分為純氣、高純4 _6 m p- _4氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。2017年，我國(guó)工業(yè)新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換成效初顯，工業(yè)生產(chǎn)超預(yù)期回升、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級(jí)、企業(yè)效益明顯改善。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合，可分為電子級(jí)、L S I (大規(guī)模集成電路) 級(jí)、VL S I (超大規(guī)模集成電路) 級(jí)和UL S I (特大規(guī)模集成電路)級(jí)。