高純氣體  高純氮氣

純度(V/V)：99.999%

執(zhí)行標準 ：國標

產品介紹 ：

不燃，無色無味無臭的氣體，液化后呈無色透明。

化肥、氨、硝酸等化合物的制造，隋性保得介質，速凍食品、低溫粉碎等的制冷劑、冷卻劑，電子工業(yè)中的處延、擴散、化學氣相淀積、離子干刻、光刻等，還用作標準氣、校正氣、零點氣、平衡氣等。

使用要求：

危險性:空氣中含氮量增加會造成氧的稀釋,影響人的正常呼吸（在空氣中l(wèi)高容許濃度不應超過82%），高濃度的氮氣可引起窒息；液氮接觸皮膚能引起冷燒l傷。

操作場所要求通風，操作人員必須經(jīng)過專門培訓,嚴格遵守操作規(guī)程，建議液氮操作人員穿勞保服裝,佩戴防凍手套，遠離火種、熱源，工作場所嚴禁吸煙。搬運時要輕裝輕卸，防止包裝容器損壞 。

檢測時樣氣（標氣）流路也一樣存在漏氣問題。我們已找到改變分析操作能判斷是否有漏氣方法，并能大致確定漏量大小。在現(xiàn)如今的市場上，高純氦氣的銷售已經(jīng)擁有一定的規(guī)模，對于高純氦氣的價格有許多人還并不是非常的了解。還有“在檢測<20ppbl超低微量氣體成分時，不能采用紫銅及一般不銹鋼材料”的說法也欠根據(jù)。氦離子化檢測器和電子捕獲檢測器都是能直接撿測ppb級的檢測器，在儀器上我們仍用一般紫銅與不銹鋼管作連接管與色譜柱，只是要將管內清洗和置換干凈就能滿足要求[27]。在校驗方法上，有人說“市售瓶裝標準氣含量在1—20ppm內，使用這種濃度的標準氣去校驗1—20ppb濃度的含量數(shù)據(jù)，兩種數(shù)據(jù)大小相關1000倍，這是完全不合理的?！边@是外行批評內行的話！好象批評者能配出含量為1—20ppb的標準氣？因為很明顯目前還沒有人能得到純度為9個“9”的配標準氣的底氣。基于目前只能配制出ppm級標準氣，第l一底氣純度得到保證；第二個問題是配氣誤差。只要查一下國家l質量技術監(jiān)督局批準的一級[GBW]和二級[GBW（E）]氣體標準物質（共300多種）[11]，就可知道氣瓶標氣l小配制濃度只能到1ppm。第三考慮到濃縮法能將ppb變?yōu)閜pm級和檢測器可以保證的線性范圍。因而用ppm的標準氣校驗ppb級就不足奇怪。理論與技術上的研究，在許多內容上都是使“不可能”“不合理”的事，讓它在一定條件下成為可能。

  高純氮氣主要運用在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。由于爐腹氣體體積下降，在還原豎井區(qū)域的固體材料的加熱潛力比傳統(tǒng)高爐低，并且需要在軸上面注入預熱氣體去補償還原豎井區(qū)域的熱供應不足。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。

3.出氣速率

材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內部存在著某些雜質，如氮、碳氫化合物等，在高純氣體輸送過程中，這些雜質會緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質要求在ppb以上級的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。

4.吸附性

由于水分等雜質是極性分子，吸附性很強。4、氫氣使用區(qū)域應通風良好，保證空氣中氫氣最l高含量不超過1%（體積）。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料極易吸附水分等雜質，銅材對水吸附性極強，使用這些材料輸送高純氣體易被污染，除了輸送ppm級以下的氧氣會使用紫銅管外，高純氣體都不采用銅管和塑料管，氣體會接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料（包括聚四氟乙烯）。