無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。圓毛刷：工作范圍主要集中在工作臺臺面，清楚工作臺面細(xì)微的小顆粒伸縮桿：增大清掃范圍領(lǐng)域。

    層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。

   其型式可分為二種：

   ⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，灰塵隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

   優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

   ⑵垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。

   優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

   缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

    并裝局部無塵室（Clean Spot）：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的好凈化設(shè)備之一，它可以大限度地減少員工進(jìn)出無塵潔凈室所帶來的污染問題。潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。潔凈工作臺：等級Class 1~100級。潔凈工作棚：為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運(yùn)用。

    除了人員進(jìn)出潔凈室須予以規(guī)范管理外，原材料及設(shè)備進(jìn)出也必須經(jīng)過潔凈程序，方不至于影響潔凈室潔凈度。其進(jìn)潔凈室流程如表8-4所示。至于搬出則反向而行，但不須經(jīng)洗滌程序。原材料及設(shè)備進(jìn)出用潔凈室為潔凈室等級1000或10,000級房間，工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或原材料時必須穿著清潔衣服，所使用擦拭紙為無塵紙或不會脫落纖毛無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入3～5%濃度的IPA或化學(xué)品，以增強(qiáng)去污能力，由于IPA具揮發(fā)性故此房間排氣效果須特別考慮。搬遷設(shè)備時為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過的不銹鋼板，作為輔助。除了人員進(jìn)出潔凈室須予以規(guī)范管理外，原材料及設(shè)備進(jìn)出也必須經(jīng)過潔凈程序，方不至于影響潔凈室潔凈度。