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從大的方面來(lái)講,光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分,細(xì)分為以下幾道主要工序:
單晶棒生長(zhǎng)-單晶棒裁切和檢測(cè)-外徑磨削-切片-倒角(圓邊)-研磨/研磨片檢查-蝕刻(化學(xué)蝕刻、LP-CVD AP-CVD 等工藝)-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光(ML粗拋、ML精拋)-洗凈-品質(zhì)檢查-潔凈包裝
從單晶棒生長(zhǎng)到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序,切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序。下面以某日資硅片廠為例,介紹光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)和自控系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。
電子潔凈車(chē)間的凈化空調(diào)系統(tǒng)是整個(gè)凈化工程的主要設(shè)備之一,通過(guò)過(guò)濾器的三級(jí)過(guò)濾機(jī)理將輸入潔凈區(qū)的空氣控制在規(guī)定的潔凈度等級(jí),級(jí)別越高凈化效果則越明顯。
如要對(duì)電子潔凈車(chē)間的凈化空調(diào)系統(tǒng)電加熱時(shí),宜選用管狀式,位置在過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè),注意做好防火安全措施。
凈化工程送風(fēng)機(jī)組的選擇,可按照凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風(fēng)量、阻力值來(lái)確定。
在建設(shè)電子潔凈車(chē)間時(shí)應(yīng)合理利用凈化空調(diào)回風(fēng)系統(tǒng),如操作過(guò)程中出現(xiàn)大量有害物質(zhì)或衛(wèi)生要求達(dá)不到時(shí),應(yīng)避免使用回風(fēng)。
電子廠潔凈廠房的施工難點(diǎn)和特點(diǎn)分析
電子廠潔凈廠房的施工難點(diǎn)
1、高空作業(yè),一般我們得先把地板層做起來(lái),再以地板層為界面分為上下兩個(gè)層面進(jìn)行施工。這樣才能保障安全,減少整個(gè)施工的難度。
2、大工廠需要大面積精度控制,我們得配置專(zhuān)業(yè)的測(cè)量人員,大工廠需要大面積精度控制在實(shí)施的要求范圍之內(nèi)。
3、全過(guò)程要求潔凈施工控制,潔凈廠房施工不比其他廠房施工,需要有對(duì)潔凈的管控。潔凈的控制從開(kāi)始施工到結(jié)束施工都要嚴(yán)格管理,這樣才能保證建造出來(lái)的潔凈廠房是合格的。
電子廠潔凈廠房施工的特點(diǎn)
1、工期短。建設(shè)方須盡快進(jìn)行生產(chǎn),以短期取得投資回報(bào)。
2、潔凈廠房品質(zhì)要求非常高,潔凈廠房的品質(zhì)將直接影響電子產(chǎn)品良品率的高低。
3、建潔凈廠房復(fù)雜度高。建潔凈廠房所需技術(shù)涵蓋各行業(yè)、專(zhuān)業(yè)知識(shí)。
空調(diào)凈化需關(guān)注節(jié)能
空調(diào)凈化是能耗大戶(hù),設(shè)計(jì)與施工中需關(guān)注節(jié)能措施。在設(shè)計(jì)中,系統(tǒng)及區(qū)域的劃分,送風(fēng)量計(jì)算,溫度與相對(duì)溫度的確定,潔凈級(jí)別與換氣次數(shù)的確定,新風(fēng)比,風(fēng)管保溫,風(fēng)管制作中的咬口形式對(duì)漏風(fēng)率的影響,干管支管連接角度對(duì)氣流阻力的影響,法蘭連接是否漏風(fēng)等以及空調(diào)箱、風(fēng)機(jī)、冷水機(jī)組等設(shè)備選擇無(wú)一不與能耗有關(guān),所以,這些細(xì)節(jié)必須要考慮到。
風(fēng)管要求經(jīng)濟(jì)與效率并重
在集中或凈化空調(diào)系統(tǒng)中,對(duì)風(fēng)管的要求是既經(jīng)濟(jì)又能有效地送風(fēng)。前者要求體現(xiàn)在價(jià)格低廉,方便施工,運(yùn)行成本,內(nèi)表面光滑阻力小。后者是指嚴(yán)密性好,不漏氣,不發(fā)塵,不積塵,不污染,可耐火、耐腐蝕、耐潮濕。在運(yùn)行中,有時(shí)候管件的局部阻力大大高于風(fēng)管的沿程阻力,這種狀況需要改善。管件主要有彎頭、變徑管三通及四通管。彎管的中心曲率半徑應(yīng)大于矩形風(fēng)管的邊長(zhǎng),圓形則采用1.25倍直徑。大斷面風(fēng)管應(yīng)在管內(nèi)加導(dǎo)流片,以減少阻力。而在實(shí)際安裝施工中,較少如此處理。對(duì)于變徑管,不可突然變徑,宜作成漸擴(kuò)(縮)管,漸擴(kuò)管每邊擴(kuò)展角應(yīng)大于15°,漸縮管則每邊收縮角不大于30°。矩形風(fēng)管的三通要順氣流彎管彎曲分流,支管也應(yīng)有一定的曲率半徑。若要90°角分流,則應(yīng)在彎頭內(nèi)加導(dǎo)流片。