電容式位移傳感器尤其適合緩慢變化或微小量的測量，一般來說采用電容式傳感器進行檢測比較適宜。下圖顯示了一種MEMS變電容式加速度傳感器的結構，它的整個敏感元件由粘在一起的三個單晶硅片構成。電容式位移傳感器的這些性能必然促使其應用范圍越來越廣泛。主要用于解決壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調，天文望遠鏡鏡片微調，精密微位移測量等測量問題。

優(yōu)點：具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點。

位移的測量方式所涉及的范圍是相當廣泛的。容柵位移傳感器是基于變面積工作原理的電容傳感器，其電極的排列如同柵狀，相當于多個變面積型電容傳感器的并聯(lián)。小位移通常用應變式、電感式、差動變壓器式、渦流式、霍爾傳感器來檢測，大的位移常用感應同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術來測量。其中光柵傳感器因具有易實現數字化、精度高（目前分辨率可達到納米級）、抗干擾能力強、沒有人為讀數誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點，在機床加工、檢測儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應用。

左側隔離膜片比右側隔離膜片更清晰。在這張照片中清晰可見的一個特征是左側隔離膜片與內部金屬框架之間的間隙較小，而傳感膜片所在的寬敞腔室則較小。

回想一下，這些內部空間通常由填充流體占據，其目的是將壓力從隔離膜傳遞到傳感膜片。對這個裝置的工作有下面幾點要求：1、如果電子尺已經使用很長時間了，而且密封已經老化，同時夾雜著很多雜質，而且水混合物和油會嚴重影響電刷的接觸電阻的，這樣會使顯示的數字不停地跳動。如前所述，實心金屬框架限制了每個隔離膜片的行程，使得高壓隔離膜片在傳感膜片被推過其彈性極限之前在金屬框架上“底部”。通過這種方式，可以保護傳感膜片免受過壓損壞，因為隔離膜片根本不允許再移動得更遠。

我們書歸正傳，接著介紹傳感器知識，今天要介紹的是振動傳感器。

要了解自動化，當然要先了解機器如何感知世界。如果連感知都沒有，控制更無從說起。

為了使設備達到性能，有必要持續(xù)監(jiān)控參數例如速度，溫度，壓力和振動。

監(jiān)視設備的狀態(tài)可以預防設備損壞，就像人要進行體檢，要測血壓，一樣。這些指標是判斷一個人是否健康的參數。如果這些指標有問題，得病的概率就大大增加。

同理設備也一樣，但設備畢竟沒有人體那么復雜，在設備性能參數中，判斷動態(tài)條件的參數就是振動。

所以要讓設備變得智能，并且能自我診斷，肯定少不了振動傳感器。